实验室用PECVD系统设备_PECVD厂家哪个好

当前位置：电炉选购 >实验室用PECVD系统设备

实验室用PECVD系统设备

名称：PECVD厂家发布时间： 2020-11-10 点击数：167

PECVD系统简介

为了降低化学沉积温度，利用了等离子体的活性来促进反应，这种CVD系统称之为等离子体增强型化学气相沉积系统（PECVD），该PECVD系统设备可以根据气体的种类数量、射频功率大小、气体是否需要预热、沉积所需温区随意定制。

PECVD系统主要参数

型号	SGM1200-PE60	SGM1200-PE60Y
工作温度	≤1000℃	≤1000℃
升温速率	10℃/min	10℃/min
气体预热区	无	200mm
沉积区长度	200mm	440mm
恒温区长度	100mm	220mm
石英管管径	50/60mm	50/60/80-100mm
控温方式	30段PID程序控温	30段PID程序控温
射频功率	100/300/500W自匹配	100/300/500W自匹配
射频频率	13.56Mhz	13.56Mhz
真空泵抽速	4L/s	4L/s
真空度	≤10Pa	≤10Pa
进气种类	1~4种	1~4种
功率	220V/4kw	220V/7kw

免责声明：本站介绍内容（包括产品图片、产品描述、技术参数等），仅供参考。可能由于更新不及时，或许导致所述内容与实际情况存在一定的差异，请与本公司客服人员联系确认。内容专业性较强，仅供参考学习，请勿直接采用。本站部分图片和文字来源于网络收集整理，仅供学习交流，版权归原作者所有，并不代表我站观点。本站将不承担任何法律责任，如果有侵犯到您的权利，请及时联系我们删除。

标题： PECVD介绍网站