CVD系统:管式炉、流量混合器、真空体统
CVD系统简介
常规CVD系统由管式炉、流量混合器、真空体统三部分组成。CVD系统可以满足绝大部分气氛或真空环境下的小样品试验。每个部分都可以单匹配成不同部件以满足不同的实验条件，如流量计可以选择浮子流量计或质量流量计，单通道或多通道，管式炉可以选择1200℃-1500℃-1700℃单温区或者多温区炉子。
主要参数
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电炉名称 |
CVD系统 |
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工作温度 |
≤1100℃ |
≤1600℃ |
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升温速率 |
10℃/min |
10℃/min |
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气体预热区 |
无 |
200mm |
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加热区长度 |
200/440mm |
200/300mm |
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恒温区长度 |
100/220mm |
50-100mm |
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管径 |
50/6/80-100mm |
50/60/80mm |
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控温方式 |
30段PID程序控温 |
30段PID程序控温 |
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真空泵 |
机械泵/分子泵 |
机械泵/分子泵 |
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真空度 |
≤10-3Pa |
≤10-3Pa |
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进气种类 |
1~4种 |
1~4种
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