质子气体配比器：三路质子气体配比器
- 别称：
- 类型：高温电炉系列
- 温度：
- 规格：
产品详情
气体混比器主要用于气体流量测试,并按比例混合气体,为真空管式炉或手套箱营造特定要求的气氛环境、
赛特瑞三路气体混比器可以外接3种气体,采用质子型流量计,气路管道采用304抛光管制作耐腐蚀性强、三路质子气体混比器气路接头采用全不锈钢双卡套快速接头,方便连接且不易泄漏、
质子气体配比器有两路质子气体配比器、三路质子气体配比器、四路质子气体配比器、五路质子气体配比器。
气体混比器范围：
1、半导体制造行业中气体流量控制
2、各种真空镀膜设备
3、各种材料表面处理
4、气体燃烧控制
5、混和混气系统
6、泄漏探测系统
7、环境检测与分析设备
8、分析仪器的气体流量计量与控制
9、化工、石化、冶金、光纤熔炼等需要气体检测和控制的场所
三路质子气体混比器主要技术参数
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产品品牌 |
赛特瑞 |
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产品名称 |
三路质子气体混比器 |
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产品型号 |
STR-3Z |
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流量计类型 |
质子流量计 |
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流量计管芯 |
304不锈钢 |
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调节阀类型 |
电磁调节阀 |
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管道常态 |
常闭 |
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流量计外壳 |
黑色铝壳 |
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气体种类 |
3种 |
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接口尺寸 |
1/4" |
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测量精度 |
±1、0%F、S |
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线性度 |
±0、5%F、S |
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重复精度 |
±0、2%F、S |
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压力范围 |
-0、1-0、15 MPa |
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A路气体测量范围 |
0～100SCCM |
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B路气体测量范围 |
0～200SCCM |
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C路气体测量范围 |
0～500SCCM |
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流量控制范围 |
2%～100% |
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零点温漂 |
0、6F、S(15～35℃) |
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响应时间 |
2S |
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工作环境温度 |
(15～50℃) |
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精度保证温度 |
(15～35℃) |
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供电电源 |
220V 50Hz |
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外形尺寸 |
L700×W600×H580 |
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设备重量 |
43kg |
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