1700度三温区三路气体CVD系统：三温区管式炉与三路混气系统
1700度三温区三路气体CVD系统介绍：
1700度三温区三路气体CVD系统是有STR1700度三温区管式炉与三路混气系统、真空系统组成.1700度三温区三路气体CVD系统气体流量系统为三通道质量流量控制系统。
1200度三温区CVD系统
三温区管式炉主要用途：
三温区管式炉陶瓷、冶金、电子、玻璃、化工、机械、耐火材料、特种材料、建材、高校、科研院所、工矿企业做粉末焙烧、陶瓷烧结、高温实验、材料处理、质高校、科研院所、工矿企业做高温气氛烧结、气氛还原、CVD实验、真空退火等。
三温区管式炉技术参数：
|
1 |
电炉型号 |
STR-G1700度三温区管式炉 |
|
2 |
炉 膛 |
高纯氧化铝多晶纤维固化炉膛，保温性能好。 |
|
3 |
炉管尺寸 |
Φ60×1200mm |
|
4 |
加热元件 |
温区1温区3-硅碳棒，温区2硅钼棒 |
|
5 |
测温元件 |
温区1温区3 S级， 温区2 B级 |
|
6 |
控温方式 |
温度控制采用三个高精度30段数字控温仪控制，具有PID调节、自整定功能，30段升降温程序 |
|
7 |
密封方式 |
不锈钢法兰密封 |
|
8 |
真空系统 |
高真空系统组（达到技术要求） |
|
9 |
工作温度 |
温区1温区3≤1400℃ 温区2≤1700℃ |
|
10 |
温度 |
温区1温区3≤1450℃ 温区2≤1750℃ |
|
11 |
恒温精度 |
±1℃ |
|
12 |
恒温区长度 |
总加热区长度不小于 25〞 |
|
13 |
建议升温速度 |
温区1温区3 20℃/min 温区2 10℃/min |
|
14 |
气体流量系统 |
三通道质量流量控制系统（达到技术要求） |
|
15 |
额定功率 |
10KW |
|
16 |
工作电源 |
AC220V/50HZ/60HZ |
|
17 |
标准配件 |
三温区管式炉 1台，高真空系统 1套，三通道质量流量控制系统 1套，原厂配置管式炉架 1个 |
推荐内容
NEWS
