1200℃二通道混气高真空CVD系统：双温区管式炉+二通道混气系统
洛阳赛特瑞可生产1200三温区3路质量供气高真空CVD系统、1200双温区3路质量供气高真空CVD系统、1200双温区2路质量供气高真空CVD系统、低真空CVD系统。CVD系统由真空管式炉与真空系统、混气系统组成。主要应用于气氛保护烧结、材料还原、材料真空脱气，精密材料真空热处理、时效处理、CVD实验等一些需要高真空或气氛保护环境下的热处理实验。
1200 ℃ 二通道混气高真空CVD 系统简介：
1200 ℃ 二通道混气高真空CVD系统的管式炉采用双层壳体结构，炉膛采用氧化铝纤维材料，能使样品加热到1200℃ 。左法兰上安装一个数字式真空显示计，右法兰上安装有一KF-25 接口，可以与机械泵相连接（抽速为226L/m）。同时左法兰上安装有φ6.35的卡套接头，使得炉体可与混气系统相连接。精度的控温系统提供30段升温和降温程序，其控温精度度为+/- 1 ℃ 。
主要功能和特点：
1、系统启动快，抽气时间短，可获得无油污染的清洁真空环境；
2、真空度显示采用科学计数法,数字显示,使用方便直观；
3、测量精度高、稳定性好、抗干扰能力强；
4、系统操作方便，简单易懂；
5、可抽吸无腐蚀性、不溶于水、不含有固体颗粒的气体，吸入气体中允许混有少量液体。
6、一体式炉架结构，可移动，组合、安装方便灵活；
1200 ℃ 二通道混气高真空CVD 系统主要技术参数
|
型号 |
炉管尺寸（ mm ） |
功率（KW ） |
外形尺寸（mm ） |
电压（V ） |
|
|
HTF1100-6/40-HV-2M |
Φ60×1000 |
3 |
D610×W1220×H660 |
220 |
|
|
其它尺寸可根据客户需求定制 |
|||||
|
额定温度 |
≤1200 ℃ |
||||
|
工作温度 |
≤1100 ℃ |
||||
|
加热区长度 |
400mm |
||||
|
恒温区长度 |
200mm |
||||
|
加热元件 |
掺钼铁铬铝合金加热丝 |
||||
|
炉壳结构 |
双层壳体结构 |
||||
|
炉膛材质 |
质高纯氧化铝多晶体纤维 |
||||
|
炉管材质 |
高纯石英管 |
||||
|
炉门结构 |
翻盖开启式 |
||||
|
温控系统 |
PID 调节、自整定功能，并可编制30 段升降温程序 |
||||
|
测温方式 |
K 型热电偶 |
||||
|
控温精度 |
±1.0℃ |
||||
|
升温速率 |
推荐≤5 ℃ /min ，设计快升温速率≤10 ℃ /min |
||||
|
降温速度 |
700 ℃ 以上≤5 ℃ /min |
||||
|
真空度 |
6.7x10-4Pa |
||||
|
气体流量 |
M 1 范围: 0~100 sccm ；M 2范围: 0~200 sccm； |
||||
|
电炉结构 |
|||||
|
产品结构 |
落地式，控制部分位于机台下方； |
||||
|
炉壳结构 |
双层炉壳，壳体间风扇制冷，可使炉体表面快速降温。 |
||||
|
节能效果 |
★ 保温时仅需40% 功率 |
||||
|
控温系统 |
温度控制为模糊PID 微电脑自动演算,PV/SV同时显示按键设定； 温度控制方式为P.I.D+S.S.R 可控硅； 控制方式：30 段PID程序控温 ； |
||||
|
真空系统 |
安装在移动架底部的机械泵，真空度达 6.7x10-4Pa. 真空泵与手动挡板阀之间用KF25 快接与不锈钢波纹管连接.数字真空表安装在一端的法兰上. |
||||
|
混气系统 |
M 1 范围: 0~100 sccm ；M 2范围: 0~200 sccm； |
||||
|
加热元件 |
质掺钼铁铬铝合金加热丝，温场均匀，能耗低； 升温速率建议: 5 ℃ /Min Max:10 ℃ /Min |
||||
|
保温及加热方式 |
耐高温纤维及空气隔热； 加热方式为热辐射及自然对流； |
||||
|
炉膛保温材料 |
质高纯氧化铝多晶体纤维，不易掉粉、寿命长且保温性能好。 |
||||
|
安全保护装置 |
保险丝； 电热过电流保护装置； |
||||
推荐内容
NEWS
