洛阳赛特瑞高温电炉生产的管式炉包含真空管式炉、立式管式炉、倾斜旋转管式炉、滑道式管式炉。
STR1200度小型双炉体滑道管式炉是一款小型双炉体滑道管式炉,炉管为Φ50×1400mm的石英管,并配有不锈钢密封法兰,仪器zui高温度可以达到1200℃。小型双炉体滑道管式炉两个炉体可在滑轨上滑道,实现对原材料的蒸发/升华,及薄膜沉积。为取得zui快加热,可以预先加热炉子到设定的温度,然后移动炉子到样品位置。为获得快速冷却,可在样品加热后移动炉子到另一端,是低成本快速热处理的不错炉子。
详情介绍:
小型双炉体滑道管式炉同时可选择电动滑轨、质量流量计(MFC)控制的供气系统和等离子射频电源来搭建CVD系统。
该设备可用于石墨烯制备、硫化物制备等。
小型双炉体滑道管式炉技术参数:
微 型 管 式 炉 | 产品型号 | STR1200度小型双炉体滑道管式炉 | |
炉管材质 | 高纯石英管 | ||
炉管直径 | φ50mm | ||
炉管长度 | 1400mm | ||
加热区长 | 300mm | ||
恒温区长 | 200mm | ||
工作温度 | 0~1100℃ | ||
控温精度 | ±1℃ | ||
控温模式 | 30段或50段程序控温 | ||
显示模式 | 高亮数码管数字显示 | ||
密封方式 | 304不锈钢真空法兰 | ||
法兰接口 | 1/4英寸卡套接头,KF16/25/40接头 | ||
可抽真空 | 4.4E-3Pa | ||
供电电源 | AC:220V 50/60Hz | ||
供 气 系 统 | 产品型号 | CY-3Z | |
气体通道 | 3通道 | ||
测量部件 | 气体质量流量计 | ||
测量量程 | A通道:0~100SCCM H2气 | 备注:如需其它量程或气体种类,定货时需要特别注明。可根据客户的具体要求来选配对应的气体种类和量程的流量计。 | |
B通道:0~300SCCM N2气 | |||
C通道:0~500SCCM Ar气 | |||
测量精度 | ±1.0%F.S | ||
管道耐压 | 3MPa | ||
工作压差 | 50~300KPa | ||
连接管道 | 304不锈钢 | ||
控制阀门 | 304不锈钢针阀 | ||
接口规格 | 进气口和出气口为1/4英寸卡套接头 | ||
供电电源 | AC:220V 50/60Hz | ||
排 气 系 统 | 机械泵 | 旋片泵 | |
抽气速率 | 4L/S | ||
排气接口 | KF16 | ||
真空测量 | 电阻规 | ||
极限真空 | 1.0E-1Pa | ||
供电电源 | AC:220V 50/60Hz | ||
抽气接口 | KF16 |
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