高温真空炉扩散泵抽不上真空是什么原因造成的？如何解决？

高温真空气氛炉扩散泵抽不上真空是什么原因？高温真空气氛炉扩散泵抽不上真空怎么办？

高温真空气氛炉扩散泵抽不上真空原因：

1、扩散泵或主阀气缸有泄漏；

2、炉腔有泄漏；

解决方法：

先打开阀门后，真空炉的真空度不降反升。说明确实有漏。反复启动是因为扩散泵本身有一个启动的真空度要求，质的国产的泵都有。真空度一般在2pa以内扩散泵才可以启动。所以真空度只要超过2pa以上，那这个高真空阀肯定就会关闭，所以问题就出在高真空阀上。使用真空氦气检漏就可以查出问题的所在。