产品详情

小型PECVD管式炉系统由高温管式炉、石英真空室、真空系统、混气系统、射频电源系统等组成。

小型PECVD管式炉主要使用于:金属薄膜，陶瓷薄膜等，复合薄膜，石墨烯等生长。增加功能容易，可扩展等离子清洗刻蚀等功能。该PECVD系统具有： 薄膜沉积速率高、均匀性好、一致性和稳定性高等优点。

RF射频电源为实验室PECVD管式炉用小型RF射频电源。

射频收发核心电路射频即Radio Frequency，通常缩写为RF。表示可以辐射到空间的电磁频率，频率范围从300KHz～30GHz之间。

RF电源是产生等离子体的配套电源,由射频功率源，阻抗匹配器以及阻抗功率计组成

射频电源的用途及工作原理：射频电源是用于镀膜设备中旅，通过该设备中的功放模块产生高频电压、电流，将常规使用的220V电压和频率50/60MHZ转换为可变的13.56MHZ电压电流。

RF射频电源主要技术参数：

功率输出范围	0-500W
反射功率	200W
工作频率	射频：13.56MHZ±0.005%
功率稳定度	+/-0.1%
谐波分量	≤-50dbc
射频区域宽度	0-600mm 可调
匹配方式	自动
冷却方式	分冷
噪声	<50dB
射频接口	50Ω   N-type
输入电源	208-240V  50/60HZ

RF射频电源 生产厂家哪家好？PECVD管式炉用小型RF射频电源-洛阳智能高温电炉洛阳赛特瑞为专业的RF电源生产厂家，具有多年的研发与生产经验、质量稳定可靠 TAG:RF射频电源