对流化床立式管式炉\1200度流化床管式炉
名称:厂家 发布时间: 2020-12-14 点击数:96
SGM 1200度流化床立式管式炉是由洛阳西格马高温电炉生产的高温管式炉,又称流化床加热炉。流化床立式管式炉是门针对粉末表面沉积的CVD实验,反应气体通过多孔石英板均匀地通过反应区,到达鼓肚子收口处形成回流涡流。
流化床加热炉为反应气体和均匀地通过反应区固体颗粒被通入的气体悬浮在加热区内。炉体设计为开启式,当实验结束后,可将炉体打开,拿出石英管,取出反应后的颗粒。注意:在通入气体悬浮起样品颗粒时,也许会因为气体流量过大会使颗粒穿过加热区,所以实验时要根据颗粒的大小尺寸来调节气体流量等
对流化床立式管式炉特点
炉管为高纯石英管,炉管内部配置一嵌有一多孔石英板的石英舟,石英板的孔径可单定制。.粉末可放在多孔石英板上,气体可从炉管下端通入,通过多孔石英板使样品颗粒悬浮在加热区域,进行沉积实验
对流化床立式管式炉用途
流化床加热炉是一款流化床立式管式炉,专门针对粉末表面沉积的CVD实验。反应气体和均匀地通过反应区固体颗粒被通入的气体悬浮在加热区内,炉体设计为开启式,当实验结束后,可将炉体打开,拿出石英管,取出反应后的颗粒。
注意:在通入气体悬浮起样品颗粒时,也许会因为气体流量过大会使颗粒穿过加热区,所以实验时要根据颗粒的大小尺寸来调节气体流量等
流化床立式管式炉主要技术参数:
电炉名称 |
1200度流化床立式管式炉 1200℃ fluidized bed vertical tubular furnace |
炉管尺寸 |
80mm X500 mm |
加热元件 |
国钢电阻丝 (可选配瑞典 Kanthal A1质电阻丝) 或者硅碳棒 |
控制方式 |
采用宇电程序控温仪表(标配) 1、30段程序控温智能PID调节。 2、具有过温保护和断偶保护,过温或断偶时电炉加热电路自动切断,(当电炉温度超过1200度或热电偶烧断时,主电路上的交流继电器会自动断开,主电路断开,面板上ON灯熄灭,OFF灯亮,有效的保护电炉)。 3、带有485 通讯接口(选购软件时标配) 4、具有断电保护功能,即断电后再给电启动炉子时、程序不是从起始温度开始升、而是从断电时炉温开始升。 5、仪表具有温度自整定的功能 (更换质仪表,需要另外付费,选购) FP93控温仪表(日本岛电) 欧陆仪表 触摸屏仪表 |
炉膛材料 |
1、真空吸滤成型的质高纯氧化铝多晶纤维固化炉膛。 2、采用日本技术成型。 3、炉膛里电阻丝的间距和节距全部按日本的热工技术布置、经过热工软件模拟温场 |
流化床区域 |
1、反应气体通过多孔石英板均匀地通过反应区,到达鼓肚子收口处形成回流涡流。 2、固体颗粒被通入的气体悬浮在鼓肚子区域内 3、炉体设计为开启式,当实验结束后,可将炉体打开,拿出石英管,法兰为卡套式、打开法兰卡套取出反应后的颗粒。 进气气体的调节:在通入气体悬浮起样品颗粒时,可能会因为气体流量过大会使颗粒穿过加热区,所以实验时要根据颗粒的大小尺寸来调节气体流量。
|
炉管或多孔石英板 |
1、多孔石英板孔径:10um 左右 2、尺寸:φ35mm x 5mm 厚 |
控制精度 |
+/- 1 ℃ |
电器 |
浙江正泰 |
可控硅 |
106/16E 德国西门康 |
温度 |
1200 ℃ |
额定温度 |
1100 ℃ |
升温速率 |
≤30 ℃/ Min (可根据要求修改) |
推荐升温速率 |
≤15 ℃/ Min |
热电偶型号 |
K型 |
加热段长度 |
205mm |
真空系统 |
1、单级泵 TW-1.5A 2、 双级泵 2XZ-2 3、 VS-0.1真空系统 4、 VS高真空系统 5、 恒压泵 6、英国PCG550(INFICON)电容真空计 1、一般粗略抽真空、把炉管里面的气体赶出来用:TW-1.5A单级泵即可。 2、双级泵2XZ-2 真空泵能够把管式炉炉管的真空度抽到10Pa左右。 3、VS-0.1真空系统能够把管式炉炉管内的真空度抽到0.1Pa(并配带有电阻真空计显示)。 4、VS高真空系统(该系统是由分子和机械泵组成)能够把管式炉炉管内的真空度抽到10-3 Pa。 5、恒压泵(该系统可以把管内压力控制在-100.0KPa~100.0KPa)。 6、英国(INFICON)电容真空计(测量范围3.8x10-5 -1125 Torr、可检测各种气体,包括混合气体,测量、重复性好、可选防腐类型PCG554) |
四周表面温度 |
≤45℃ |
炉塞、材料放置 |
炉塞、材料放置图片 |
电源电压 |
220V/380V |
功率 |
8 KW |
保修期 |
一年保修,终身技术支持 特别提示:1.耗材部分如加热元件,石英管,样品坩埚等不在保修期内。 2.因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内。 |
注意事项
1、炉管内气压不可高于0.02MPa
2、向炉管内通气体时,气瓶上必须安装减压阀,为了确保安全,建议使用压力低于0.02MPa。进入炉管的气体流量需小于200SCCM,以避免冷的大气流对加热炉管的冲击
3、加热过程中不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀。若需要关闭气阀对样品加热,则需时刻关注压力表的示数,若气压表示数大于0.02MPa,必须立刻打开排气阀,以防意外发生(如炉管破裂,法兰飞出等)
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