1200℃滑动式三温区CVD系统设备_CVD系统设备品牌哪个好

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1200℃滑动式三温区CVD系统设备

名称：CVD系统设备厂家发布时间： 2020-07-16 点击数：89

洛阳西格马可生产1200℃滑动式三温区CVD、1200℃滑动式PCVD

1200℃滑动式三温区CVD主要由加热系统及控制系统组成；全套系统包含加热系统、真空系统、供气系统及控制程序系统等。炉体部分采用上下式结构，空气冷却方便快速；炉子的气体管线、真空系统及控制系统全部采用模块化设计，维护升级方便，所有系统全部集成安装在炉体下部，简洁美观。全套系统通过PLC装置可现场操作也可进行远端调控。

1200℃滑动式双温区PCVD系统是一款小型的PE-CVD（等离子体气相沉积）管式炉系统。为了让化学反应能在较低的温度下进行，利用了等离子体的活性来促进反应。此套设备主要由500W的等离子射频电源，开启式管式炉（带有真空法兰和连接管道），多通道精密质量流量控制器和真空机械泵组成。

1200℃滑动式三温区CVD结构特点：

1、炉壳用A3钢板焊接、拼装而成。炉壳的整体结构具有较强的刚性，并按高温热膨胀和冷态收缩的特点设计，外观美观大方，牢固可靠，具有长期使用不易变形等特点。同时炉壳体钢板的表面做有防锈处理，底漆为防锈漆，外炉壳表面静电喷塑，美观大方。

2、保温材料选用合资企业生产的1400型高温陶瓷纤维块，保温厚度50MM，内嵌料厚度40MM，耐高温、导热系数低，热容量低，保温性好，具有节能、快速升温等点。

3、加热元件选用康泰尔电阻丝预埋在炉膛四周的纤维中，使加热元件直接向炉膛辐射热量。这种敞开式炉膛能有效地加快炉膛升温速度，提高温度控制精度。联接导线通过用瓷珠引出炉壳固定在绝缘子上。

4、炉体采用上下式结构，空气冷却方便快速。

5、炉子的气体管线、电器控制系统及真空系统全部安装在下部，石英管支架采用双向铝合金导轨，二次安装在炉体下。

6、真空采用下进气方式，抽真空、真空检测及进料在一端，另一端是排气及进气口。

7、考虑到是试验型炉，操作阀门全部是手动控制，今后在生产使用中可实现自动控制及远传操作（在办公室也可监控并执行操作功能）。

CVD系统设备主要技术参数：

电炉名称	1200℃滑动式三温区CVD系统
系统型号	CVD-12IIIH-3Z/G	CVD-12III9H-3Z/G
额定温度	1200℃
加热区长度	655mm	940mm
恒温区长度	500mm	700mm
温区	三温区	三温区
石英管管径	Φ50/Φ60/Φ80	Φ80/Φ100/Φ120
额定功率	4.8Kw	7.2Kw
额定电压	220V	380V（三相）
滑动距离	507mm	650mm
滑动方式	自动滑动/手动滑动
温度控制	国产程序控温系统50段程序控温
控制精度	± 1℃
炉管额定工作温度	< 1200℃
气路法兰	本实用新型在密封法兰与管件链接的地方采用多环密封技术，在密封法兰与管件外壁间形成了密封，在管件外径误差较大的情况下密封仍然有效，该密封法兰的安装只需在一第次使用设备的时候安装
气体控制方式	质量流量计
气路数量	3路（可根据具体需要选配气路数量）
流量范围	0-500sccm（标准毫升/分，可选配）氮气标定
精度	± 1%F.S
响应时间	≤ 4sec
工作温度	5-45℃
工作压力	进气压力0.05-0.3Mpa（表压力）
系统连接方式	采用KF快速连接波纹管、高真空手动挡板阀及数显真空测量仪
规格	中真空		高真空
系统真空范围	10pa-100pa		1×10-3pa-1×10-1pa
真空泵	双级机械泵理论极限真空度3x10-1pa，抽气速率4L/S，		真空分子泵理论极限真空度5x10-6pa，
	出气口配有油污过滤器，额定电压220V，功率0.55Kw		抽气速率1600L/S额定电压220V，功率2Kw
炉体外形尺寸	360× 815 ×555mm
系统外形尺寸	5301440750mm		5301440750mm（不含高真空）
系统总重量	255Kg		355Kg