卷对卷式PECVD系统设备：卷对卷收放卷运动模块_品牌哪个好

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卷对卷式PECVD系统设备：卷对卷收放卷运动模块

名称：厂家发布时间： 2020-07-14 点击数：156

什么是卷对卷式PECVD系统？

卷对卷式PECVD是等离子增强型化学气相沉积设备（PECVD），并加装了收放卷装置。卷对卷式PECVD可用于线材的连续化热处理工艺中，如碳纤维制备、合金及其他材料线材改性处理等应用中。也适合用于石墨烯在卷材上的连续生长。

设备含卷对卷收放卷运动模块、1200℃双温区可开启式管式炉模块、PE等离子增强模块、真空系统以及三路质子流量计供气系统五部分，整套体系可在真空/气氛保护环境下工作。收放卷机构转速从1~400mm/min可调,机构采用反馈调节，可自动纠正转速偏差，保证样品的速度稳定不走样，从而保证了实验的准确性

卷对卷式PECVD是等离子增强型化学气相沉积设备，该卷对卷式PECVD适合用于石墨烯在卷材上的连续生长，卷对卷式PECVD用于石墨烯薄膜连续生长或者线性材料的连续的专用设备，此款设备是快速冷却卷对卷等离子体增强CVD连续生长炉，它由高温生长腔体，三路质量流量计气路系统，真空机组，RF射频电源模块，石英管，冷却装置，收放卷的密封装置，自动化控制系统组成，两端分别安装有进料进气真空腔室和出料排气真空腔室，收放密封装置内分别对应安装有放卷滚轮和收卷滚轮，所输出料排气腔体与炉体之间安装有冷却装置。

卷对卷式PECVD技术参数：

1200℃双温区管式炉	供电电压	AC220V，50Hz
	*大功率	3KW
	加热温区	双温区 200mm+200mm
	工作温度	≤1200℃
	控温精度	±1℃
	控温方式	AI-PID 30段工艺曲线，可存储多条
	炉管材质	高纯石英
	炉管尺寸	φ80mm I.D x 1400mm L
	密封方式	不锈钢真空法兰
	真空测量	电阻规
	工作气体	氢气、氮气、氩气、氧气等非腐蚀性气体
	真空泵	双极旋片式真空泵
	极限真空度	10^-1Pa
三路质量流量计	阀门类型	不锈钢针阀
	气路数量	三路
	承压范围	0.05~0.3MPa
	量程	1~100 SCCM（Ar） 1~200 SCCM（H2） 1~500 SCCM (CH4)
	流量控制范围	±1.5%
	混气罐容积	750mL
	气路材料	304不锈钢
	管道接口	6.35mm卡套接头
	供电电源	AC220V 50Hz
S射频电源	输出功率	500W
	输出精度	±1%
	射频频率	13.56MHz
	射频稳定度	±0.005%
	冷却方式	风冷