1、供电电源：AC:220V 50/60Hz

2、炉管  材质：高纯石英; 尺寸：直径50mm（可选配60mm、80mm、100mm）、长度800mm（炉膛长度：440mm）

3、加热区:长400mm;  恒温区:长200mm

4、工作温度:0～1100℃; 控温精度:±1℃; 

5、控温模式:30段或50段程序控温

6、显示模式:LCD

7、密封方式 :304不锈钢真空法兰 ;法兰接口:1/4英寸卡套接头、KF16/25/40接头

8、可抽真空：4.4E-3Pa

9、供气系统：TN-3Z  3通道气体通道
     测量部件：气体质量流量计
     测量量程：A通道：0～100SCCM    H2气
                       B通道：0～300SCCM    N2气
                       C通道：0～500SCCM    Ar气
 备注：如需其它量程或气体种类，定货时需特别注明。根据客户的具体要求来选配对应的气体种类和量程的流量计。
    测量精度：±1.0%F.S
    管道耐压：3MPa
    工作压差：50～300KPa
    连接管道：304不锈钢
    控制阀门：304不锈钢针阀
    接口规格：进气口和出气口为1/4英寸卡套接头
    供电电源：AC:220V 50/60Hz

10、排气系统：旋片泵 
     抽气速率： 旋片泵：1.1L/S
     抽气/排气接口:KF16
     真空测量复合真空计：电阻规
     极限真空:1.0E-1Pa
     供电电源：AC220V 50/60Hz

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