1200℃三温区九通道混气CVD系统设备:SGM三温区管式炉、九通道混气系统和真空系统
名称:CVD系统设备厂家 发布时间: 2020-06-28 点击数:105
SGM1200℃三温区九通道混气CVD系统设备是洛阳西格马高温电炉生产的九通道高真空三温区CVD系统,九通道高真空三温区CVD系统是由SGM三温区管式炉、九通道混气系统和真空系统组成。SGM三温区管式炉管具有三个温区、每个温度可立控温,质电炉丝加热,温度可达1200℃,采用石英炉管,极限真空可达to 10^-5 torr,混气系统可以对1-9种气体进行混气,然后导入到管式炉内部,用来研究气体环境对材料的影响。
1200℃三温区九通道混气CVD系统设备技术参数
管式炉 |
结构特点 |
采用双层壳体结构,并带有风冷,使得壳体表面的温度小于60度 保温材料采用高纯氧化铝纤维,可以环保节能,减少热量的损失 内炉膛表面涂有美国质的高温氧化铝涂层可以提高设备的加热效率,同时也可以延长仪器的使用寿命 三个温区,可以立控温 真空机组和气体流量供气系统位于移动加上,方便移动. |
加热元件 |
Fe-Cr-Al Alloy doped by Mo,(电阻丝表面涂有氧化锆涂层,使其延长加热元件的寿命) |
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额定温度 |
1200°C |
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连续工作温度 |
1100°C |
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升温速率 |
≤20°C/min |
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加热区长度 |
总温区长度: (880mm, 35" in total) 温区 1: 220 mm + 温区2: 440 mm + 温区 3: 220 mm |
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恒温区 |
500mmL (三个温区在同一温度within +/- 1°C) 注:由于测量手段及外部环境的影响,测量结果可能会有偏差,此参数仅供参考不作为该设备的技术指标。您购买产品需要准确的恒温区数据,请与我公司销售人员联系 |
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炉管尺寸和材质 |
材质:高纯石英管 100 mm O.D x 92 mm ID. x 1400 mm |
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温控系统 |
三个数字精密温度控制器,可设置50段升降温程序,每个温区可以进行立控温 PID调节与自动调整功能,确保温度稳定在+/ - 1 oC 带有过热和断偶保护 控温仪表操作视频 |
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热电偶 |
3根K型热电偶 |
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输入电源 |
AC 208~240V, 单相, 50/60Hz, 功率:7KW |
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真空配件 |
标准的真空配件包括 两个不锈钢真空密封法兰与kf 25抽气接口 两个精密针阀和一个1/4“软管接头 6个高温硅胶O型密封圈,设计可承受温度300°C 为了防止热量以热辐射的形式散失,高温损坏密封圈,炉子在加热前必须放入氧化铝管堵 一根KF-40 抽真空波纹管 三个KF-40 快速卸装卡箍 2个KF-25 快速卸装卡箍 |
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高真空机组 |
结构 |
壳体尺寸: 600 (L) x 600 (W) x 700(H), mm 承载量: 600 Lbs on top 分子泵显示屏:LCD数字显示 内装有一Pfeiffer vacuum pump made in Germany |
真空传感器 |
真空传感器有一个kf 25接口 可选:本公司质的防腐型数字式真空显示计,其测量范围为3.8x10-5 至 1125 Torr. 不需因测量气体种类不同而需要系数转换。 |
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控制面板 |
一键操作:按下"start" 键后,隔膜泵和涡轮分子泵将会启动(隔膜泵先启动等真空度达到10-2mbar后,分子泵自动启动) 系统控制旋转速率:根据腔体内的真空度,系统自动控制旋片泵的旋转速率 |
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抽气速率 |
N2 33 L/s He 39 L/s (2340L/minute) H2 32 L/s |
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工作范围 |
1000 mbar to <1E-7 mbar |
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极限 |
10^-5 torr (with tube furnace) |
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输入电源 |
110V AC or 220V AC可切换的, 50/60Hz |
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消耗功率 |
持续时间/*大功率: 100/110Watt |
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MFC 质量流量控制器 |
9通道精密质量流量控制器,安装在移动架上,并带有数字显示 3 MFC 范围10 - 1000scc 3 MFC 范围2 0 - 200scc 3 MFC范围3 0 - 10 scc
三个压力表分别安装在底部移动架的质量流量控制系统上,用来检测混合气体的压力 |
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空间尺寸 |
炉子尺寸: 550 x 380 x 520mm 质量流量控制器尺寸: 600 x 600 x 700mm 高真空机组尺寸: 600 x 600 x 700mm |
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重量 |
净重: 100Kg 运输重量: 350 lb (two pallets) |
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一年质保期,相关耗材除外如炉管,密封圈,加热元件等易耗件 |
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使用注意事项 |
炉管内气压不可高于0.02MPa 由于气瓶内部气压较高,所以向炉管内通入气体时,气瓶上必须安装减压阀,建议在本公司选购减压阀,本公司减压阀量程为0.01MPa-0.1MPa,使用时会更加良好安全 当炉体温度高于1000℃时,炉管内不可处于真空状态,炉管内的气压需和大气压相当,保持在常压状态 进入炉管的气体流量需小于200SCCM,以避免冷的大气流对加热石英管的冲击 石英管的长时间使用温度<1100℃ 对于样品加热的实验,不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热,则需时刻关注压力表的示数,若气压表示数大于0.02MPa,必须立刻打开泄气阀,以防意外发生(如炉管破裂,法兰飞出等) |
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