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1200℃三温区九通道混气CVD系统设备:SGM三温区管式炉、九通道混气系统和真空系统

名称:CVD系统设备厂家 发布时间: 2020-06-28  点击数:105  

SGM1200℃三温区九通道混气CVD系统设备是洛阳西格马高温电炉生产的九通道高真空三温区CVD系统,九通道高真空三温区CVD系统是由SGM三温区管式炉、九通道混气系统和真空系统组成。SGM三温区管式炉管具有三个温区、每个温度可立控温,质电炉丝加热,温度可达1200℃,采用石英炉管,极限真空可达to 10^-5 torr,混气系统可以对1-9种气体进行混气,然后导入到管式炉内部,用来研究气体环境对材料的影响。

1200℃三温区九通道混气CVD系统设备技术参数

管式炉

结构特点

采用双层壳体结构,并带有风冷,使得壳体表面的温度小于60度

保温材料采用高纯氧化铝纤维,可以环保节能,减少热量的损失

内炉膛表面涂有美国质的高温氧化铝涂层可以提高设备的加热效率,同时也可以延长仪器的使用寿命

三个温区,可以立控温

真空机组和气体流量供气系统位于移动加上,方便移动.

加热元件

Fe-Cr-Al Alloy doped by Mo,(电阻丝表面涂有氧化锆涂层,使其延长加热元件的寿命)

额定温度

1200°C

连续工作温度

1100°C

升温速率

≤20°C/min

加热区长度

总温区长度:   (880mm,  35" in total)

温区 1: 220 mm + 温区2:  440 mm + 温区 3: 220 mm

恒温区

500mmL (三个温区在同一温度within +/- 1°C) 注:由于测量手段及外部环境的影响,测量结果可能会有偏差,此参数仅供参考不作为该设备的技术指标。您购买产品需要准确的恒温区数据,请与我公司销售人员联系

炉管尺寸和材质

材质:高纯石英管

100 mm O.D x 92 mm ID. x 1400 mm

温控系统

三个数字精密温度控制器,可设置50段升降温程序,每个温区可以进行立控温

PID调节与自动调整功能,确保温度稳定在+/ - 1 oC

带有过热和断偶保护

控温仪表操作视频

热电偶

3根K型热电偶

输入电源

AC 208~240V, 单相, 50/60Hz, 功率:7KW

真空配件

标准的真空配件包括

两个不锈钢真空密封法兰与kf 25抽气接口

两个精密针阀和一个1/4“软管接头

6个高温硅胶O型密封圈,设计可承受温度300°C

为了防止热量以热辐射的形式散失,高温损坏密封圈,炉子在加热前必须放入氧化铝管堵

一根KF-40 抽真空波纹管

三个KF-40 快速卸装卡箍

2个KF-25 快速卸装卡箍

高真空机组

结构

壳体尺寸:  600 (L) x 600 (W) x 700(H), mm

承载量:       600 Lbs on top

分子泵显示屏:LCD数字显示 内装有一Pfeiffer vacuum pump  made in Germany

真空传感器

真空传感器有一个kf 25接口

可选:本公司质的防腐型数字式真空显示计,其测量范围为3.8x10-5 至 1125 Torr. 不需因测量气体种类不同而需要系数转换。

控制面板

一键操作:按下"start" 键后,隔膜泵和涡轮分子泵将会启动(隔膜泵先启动等真空度达到10-2mbar后,分子泵自动启动)

系统控制旋转速率:根据腔体内的真空度,系统自动控制旋片泵的旋转速率

抽气速率

N2     33 L/s

He     39 L/s   (2340L/minute)

H2     32 L/s

工作范围

1000 mbar to <1E-7 mbar

极限

10^-5 torr (with tube furnace)

输入电源

110V AC or 220V AC可切换的, 50/60Hz

消耗功率

持续时间/*大功率: 100/110Watt

MFC 质量流量控制器

9通道精密质量流量控制器,安装在移动架上,并带有数字显示

3 MFC 范围10 - 1000scc

3 MFC 范围2 0 - 200scc

3 MFC范围3 0 - 10 scc

三个压力表分别安装在底部移动架的质量流量控制系统上,用来检测混合气体的压力

空间尺寸

炉子尺寸:     550 x 380 x 520mm

质量流量控制器尺寸: 600 x 600 x 700mm

高真空机组尺寸:  600 x 600 x 700mm

重量

净重: 100Kg

运输重量: 350 lb (two pallets)

 

一年质保期,相关耗材除外如炉管,密封圈,加热元件等易耗件

使用注意事项

炉管内气压不可高于0.02MPa

由于气瓶内部气压较高,所以向炉管内通入气体时,气瓶上必须安装减压阀,建议在本公司选购减压阀,本公司减压阀量程为0.01MPa-0.1MPa,使用时会更加良好安全

当炉体温度高于1000℃时,炉管内不可处于真空状态,炉管内的气压需和大气压相当,保持在常压状态

进入炉管的气体流量需小于200SCCM,以避免冷的大气流对加热石英管的冲击

石英管的长时间使用温度<1100℃

对于样品加热的实验,不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热,则需时刻关注压力表的示数,若气压表示数大于0.02MPa,必须立刻打开泄气阀,以防意外发生(如炉管破裂,法兰飞出等)


标题: 1100℃、1200℃CVD系统设备介绍网站
链接:http://wwww.zzdianlu.com//dianlu/673.html
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