高温真空退火炉主要用于供金属化合物、金属合金材料、金属复合材料、陶瓷、晶体晶片、无机化合物等在真空环境下无氧烧结制品，也可用于金属材料的热处理。主要应用于电容、钽材等金属及由难熔金属组成的合金材料去应力、真空退火、钎焊等，陶瓷材料碳化硅及氮化硅的高温烧结、也可以供金属材料在高真空条件下的高温热处理、钎焊或贵金属材料的除气处理。

详情介绍：

真空退火炉主要用途

真空退火炉是用高纯电阻丝为加热元件的高温真空退火炉，耐火材料与隔热材料均采用陶瓷纤维制品，蓄热量小，与传统耐火砖电炉相比较，电能消耗仅为原来电炉的1/2；电炉重量大大减轻；升温速度更快，可达20℃/min。

供金属化合物、金属合金材料、金属复合材料、陶瓷、晶体晶片、无机化合物等在真空环境下无氧烧结制品，也可用于金属材料的热处理。主要应用于电容、钽材等金属及由难熔金属组成的合金材料去应力、真空退火、钎焊等，陶瓷材料碳化硅及氮化硅的高温烧结、也可以供金属材料在高真空条件下的高温热处理、钎焊或贵金属材料的除气处理。

设备结构合理，设计及制造符合相应的国家及行业标准和规范，使用、操作、维修方便简捷，配套产品和元器件具有国际先进水平，可稳定、安全、可靠地满足生产需求。

真空退火炉主要特点

1)均匀的加热、可靠的隔热及测温：合理的加热结构，良的材质，保证真空状态下炉温的均匀性，采用品牌测温元件，准确测温。

2)先进的自动控制及可靠的安全联锁：具有超温报警功能。

真空退火炉主要技术参数

a)设备形式：卧式

b)壳体结构：双层壳体结构外层为碳钢材质、内层为304不锈钢，壳体间为水冷通道。

c)进料方式：水平进料

d)加热形式：电阻丝

e)炉膛材料：真空吸滤成型陶瓷纤维

f)加热功率：15KW(整套机组加热功率，含真空泵水冷机等)

g)工作尺寸：深400mm宽300mm高300mm

h)极限温度：1200℃

i)工作温度：≤1100℃

j)升温速率：0-20℃/min

k)真空度：10-3pa

l)控温精度：±1℃、温度均匀性：±5℃

m)可充气体：氮气、氩气（惰性气体）

n)压升率：≤3Pa/h（空炉、冷态）

o)冷却方式水冷循环快速冷却或真空状态随炉冷却

p)报警保护超温报警炉内温度上升达到报警温度时，自动切断电源，报警提示灯亮。

q)测温方式：N分度热电偶

r)冷却水要求：PH值7.0～8.5，悬浮物固体＜100mg/L，总硬度CaO＜10mg当量/L，溶解性固体＜30mg/L，电导率＜500μS/cm

s)使用要求：海拔1000M以下、环境温度0~45度、湿度15%~45%。

真空炉结构特点：

真空炉主要组成部分有：炉体及炉门、加热室、真空系统、水冷系统、加热电源系统等。

1.炉体结构

炉体是严格按照国家真空标准设计，炉门的开启、关闭、锁紧操作简单、灵活、安全可靠，炉壳为圆形，双层水冷夹套结构、接管采用上等碳钢材质。系统在出厂前均经过严格的气压及真空试验，能够确保设备在长期使用过程中保持压升率小于3Pa/h。系统配有防止气体过充保护装置。

2.真空机组

2.1.双层水冷碳钢真空罐体，前后半圆封头。炉门封头与腔体用20mm厚不锈钢法兰连接，内置硅胶圈密封，手轮锁紧。（炉门硅胶圈装有水冷循环保护）

2.2.真空机组由前级泵、扩散泵组成、真空测量系统、真空阀门组成；

前级泵(上等泵)：2X-30A真空抽速：50L/S（产地：上海）

扩散泵(二级泵)：TK-300真空抽速：3000L/S（产地：四川南光）

真空测量系统：复合真空计ZDF5227（产地：成都睿宝）

真空阀门：主抽阀DN200手动蝶阀

旁抽阀KF50高真空挡板阀

压差阀DN50充（放）气阀：合资

2.3、充气控制：进气、排气采用电磁阀控制，且有超压自动排气功能；

3.水冷系统

高温真空退火炉分为泵组水冷和炉体水冷，由于真空机组工作时会产生大量热量，为保证泵组正常工作对泵体及扩散室冷井进行通水降温；炉体水冷主要是保证电极、密封结构免受高温影响，以及达到良好的降温效果。

工业制冷机：ZLJ-1P压缩制冷1P产地：澳大利亚

4.气体控制部分：

4.1.气体接口6mm软管接口

4.2.流量控制浮子流量计

4.3.量程3-30L/min

4.4气体种类氩气氮气

5.电控系统

采用标准控制柜，7寸液晶触摸屏温控仪表、配合真空系统、水冷系统、压力控制系统等实现超压、超温、过流等自动报警保护功能，同时，可配合压力传感器实现保护气氛下烧结。温度控制仪具有多段程序，控温精度高。

1.温度控制:PID自动控制温度，数字显示（可编程度30段曲线；全自动升温、保温、降温）上限报警、偏差报警、程序运行结束自动停止、无需人值守；

2.温控仪表线性电流输出，触发器移相触发反并联双向可控硅。

3.控温热电偶采用N分度热电偶

4.警报动作：

a.超温报警：炉内温度上升达到报警温度时，自动切断电源，报警提示灯亮。

b.断偶报警：热电偶开路，仪表报警并自动断电。