PECVD系统设备简介  

PECVD系统是为了使传统的化学气象沉积（CVD）反应温度降低，在普通 CVD 装置的前端加入 RF 射频感应装置将反应气体电离，形成等离子体，进而利用等离子体的活性来促进反应，所以这个系统称为增强型化学气相沉积系统（PECVD）。

SGM PECVD 为洛阳西格马高温电炉研发的设计新款CVD系统，综合了国内大多数厂家的管式 PECVD 系统的点，在 PECVD 前端加入了气体预热区，实验证明此结构沉积速度快，成膜质量好，针孔较少，不易龟裂。控制部分采用了我公司自主研发的实验电炉全自动智能控制系统，使得操作更加简便，功能更加强大。

PECVD系统主要特点

 气体预热——增加前端气体预热区，沉积速度更快，成膜效果更好；

智能控制系统——加热控制、等离子射频控制、气体流量控制、真空系统控制统一集中调节和操控，协调控制；

管内压力自动平衡——管内压力实时监测，自动平衡管内压力。

智能气路通断——每路气体均可定时通断，省时省力；

射频功率和开关定时控制——预先设定好功率的大小和打开与关闭的时间，系统自动运行；

炉膛移动速度可调——根据实验要求，用户可设定炉膛左右移动的速度可距离；

整机结构融为一体——移动方便，避免分散组装的困扰。

管式炉结构特点：

1、炉膛采用质氧化铝多晶纤维，有效隔热 ，节能；

2、质加热元件，大大提高其使用寿命，高密度质氧化铝管子，经久耐用，不易折断；

3、预留真空，气路快速接口，可配合我们的真空系统或混合系统使用；

4、超温报警及停电，漏电保护，运行安全可靠。

5、根据您的要求提供智能的空气泄漏测试仪/气体泄漏报警系统。

PECVD主要技术参数：

当前国内PECVD镀膜的主流为管式PECVD镀膜法，即使用像扩散炉管一样的石英管作为沉积腔室，使用电阻炉作为加热体，将一个可以放置多片硅片的石墨舟插进料的石英管中进行沉积。沉积的均匀性与电极和腔室的设计很有关系，另外管式PECVD的气流是从石英管末端开始，这样也会造成工艺气体分布的不均匀，从而也会导致太阳能电池表面成膜的不均匀。