1200度CVD管式炉由SGM 1200度管式炉+真空系统+供气系统组成 ，温度可以达到1200度,可以是单温区、双温区、三温区、五温区等，极限真空可以达到10-3Pa，供气系统是流量调节可以是质子流量计或浮子流量计，混气路数可以是2路、3路、4路、5路相混合。

SGM 1200度管式炉采用掺钼合金加热丝为加热元件，温度可达1200度，采用双层壳体结构和宇电控温仪表，能进行30段程序控温，移相触发、可控硅控制，炉膛采用日本质氧化铝多晶纤维材料，具有温场均衡、表面温度低、节能等点。采用304不锈钢法兰，具有装卸方便，抗氧化，抗酸碱，双层密封，保证了密封性。

1200度三温区CVD管式炉应用范围：

1200度三温区CVD管式炉是一种特殊的CVD系统，是高校、科研院所、工矿企业做高温气氛烧结、气氛还原、CVD实验、真空退火用的产品。

1200度管式炉特点：

1、炉体采用双层风冷壳体结构，炉壳合理的角度（风冷的导向）设计能有效的保证炉壳所有表面的温度低于35℃

2、采用真空吸附成型的高纯氧化铝纤维炉膛；表面涂有质高温氧化铝层，可以提高加热效率且炉膛不易开裂；

3、炉膛电阻丝或硅碳棒采用环形布置，上下炉膛接触面均采用台阶密封不易蹿火，有效的保证炉膛的温场均匀度和恒温区的长度；

4、电阻丝采用HRE电阻丝（Cr20Ni80 ）或硅碳棒，两种材质高温下强度高，长期使用不会变脆，抗氧化性好，经久耐用，额定温度可达1200℃\硅碳棒额定温度可达1400℃；

5、炉体两端安装有炉管防护网及炉管法兰支撑装置，防止两端裸漏的炉管高温烫伤及炉管高温下两端的受力过重；

6、炉体操作面板合理的角度设计，让您的操作观察更加合理人性化；

7、采用PID温控调节，可编程30段控温程序；恒温精度±1℃；温控仪表接口丰富，可实现通讯、联机操作等功能

8、炉管采用高纯石英或99刚玉炉管，两种材质均耐腐蚀，可承受聚冷聚热的温度变化；

9、炉管密封法兰及针型阀均采用304材质，进出气口采用通用接口，可方便客户根据不同的工艺进行接头的互换，可配合我公司的真空组、流量计、混气罐使用，可实现一机多用化；

10、设备具有超温、断偶报警自动断电功能，操作简单、安全可靠；

1200度三温区CVD管式炉规格参数：

可选配件：

质量混气系统1台、双旋机械泵1台、K型热电偶1支、气炼石英炉管1根、不锈钢法兰1套、不锈钢炉钩1、炉塞1对、高温手套1副、说明书1份