多通道质子流量计控制系统是一款低成本多路质量流量计控制系统，其质量流量计和不锈钢混气罐都安装在一个移动柜里，移动柜设计可以承重1000Lbs，与本公司大多数管式炉配套使用时，可将管式炉置于移动柜上以节约空间。各通道气路的流量设定和状态显示都集中在一6"的LCD触摸屏上，便与操控的同时，可实时查看气体流量曲线和数据。此款设备广泛的用于材料界中CVD或PECVD实验和各种材料的退火实验。

多通道质子流量计控制系统适用于低压小流量，多种气体单一/混合连续供气系统。尤其方便多种气体的切换使用，而不会造成大气进入加热管。

气体压力和流量数据在同一平面直观可读，外形美观、实用，操作简便。

采用触摸屏来控制气体的流量，显示流量准确，方便操作。

所有仪表及阀门的连接均采用活接头连接，便于维修拆卸。

PLC触摸屏     

各通道的气路设定和查看都集中在一6"的触摸屏上

RS485通讯接口和PC控温软件可以连接到电脑上，进行远程控制，（可选）

机械压力表    

有一机械压力表安装于前面板上，与混气罐相连接

量程:-0.1~0.15 MPa (0.01 MPa/grid)

通气管道        

内部连接管道为1/4”不锈钢管

外部通气管道为1/4”聚四氟管

混气罐    

Φ80X120mm

截止阀及配件        

316/304不锈钢针阀

Φ1/4”不锈钢管

气体从钢瓶出来，经过减压阀减压，通过四氟管到供气系统的入口，再经过质子流量计控制气体流量，然后经过混气罐，再进入炉子进气口，气体从出气管出来，经过三通阀门，一端连接真空泵，一端连接出气口。

混气罐上接有压力表，压力表显数盘与质子流量计安装在同一面板上。

每一条气体管路均有一个高压截止阀，安全有保证。

该气路采用高精度气体浮子流量计，气路内部全采用四氟管，耐腐蚀性好。

所有接头采用卡套连接，气密性好，耐压高。

多通道质子流量计控制供气系统内部压力不能过大，不然容易造成漏气，只要气体能正常流出来即可。质量流量计技术参数：质子流量控制器普通型，模拟电路，橡胶密封，管状分流，不易堵塞。

多通道质子流量计控制供气系统的配置：

质子流量计：4个

压力表：1个

截止阀门：5个

阀门接头：2个

穿板接头：5个

钢瓶接头: 4个

聚四氟乙烯管：20M

混气罐：1个

炉架：1台