1700度三温区三路气体CVD系统：三温区管式炉与三路混气系统

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1700度三温区三路气体CVD系统介绍：

1700度三温区三路气体CVD系统是有SGM1700度三温区管式炉与三路混气系统、真空系统组成.1700度三温区三路气体CVD系统气体流量系统为三通道质量流量控制系统。

1200度三温区CVD系统

三温区管式炉主要用途：

三温区管式炉陶瓷、冶金、电子、玻璃、化工、机械、耐火材料、特种材料、建材、高校、科研院所、工矿企业做粉末焙烧、陶瓷烧结、高温实验、材料处理、质高校、科研院所、工矿企业做高温气氛烧结、气氛还原、CVD实验、真空退火等。

1	电炉型号	SGM-G1700度三温区管式炉
2	炉膛	高纯氧化铝多晶纤维固化炉膛，保温性能好。
3	炉管尺寸	Φ60×1200mm
4	加热元件	温区1温区3-硅碳棒，温区2硅钼棒
5	测温元件	温区1温区3 S级，温区2 B级
6	控温方式	温度控制采用三个高精度30段数字控温仪控制，具有PID调节、自整定功能，30段升降温程序
7	密封方式	不锈钢法兰密封
8	真空系统	高真空系统组（达到技术要求）
9	工作温度	温区1温区3≤1400℃ 温区2≤1700℃
10	温度	温区1温区3≤1450℃ 温区2≤1750℃
11	恒温精度	±1℃
12	恒温区长度	总加热区长度不小于 25〞
13	建议升温速度	温区1温区3 20℃/min 温区2 10℃/min
14	气体流量系统	三通道质量流量控制系统（达到技术要求）
15	额定功率	10KW
16	工作电源	AC220V/50HZ/60HZ
17	标准配件	三温区管式炉 1台，高真空系统 1套，三通道质量流量控制系统 1套，原厂配置管式炉架 1个