1700度双温区管式炉CVD系统:8路供气系统_品牌哪个好

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1700度双温区管式炉CVD系统:8路供气系统

名称：厂家发布时间： 2020-04-24 点击数：137

CVD系统由供气系统+双温区管式炉+抽气系统组成，SGM双温区管式炉温度可以达到1200度、1400度、1600度、1700度，加热区间可以是单温区、双温区、三温区等，极限真空可以达到10-3Pa，供气系统是流量调节可以是质子流量计或浮子流量计混气路数可以是2路、3路、4路、5路相混合。

1700度双温区管式炉CVD系统:8路供气系统

这款西格马CVD系统是由SGM-1700度双温区管式炉与真空系统组成、8路供气系统组成

SGM-1700度双温区管式炉以1800型硅钼棒和硅碳棒为加热元件，维度可达1700度；双温区管式炉有两个加热区，采用双层壳体结构和宇电控温仪表，每个加热区能进行30段程序控温，移相触发、可控硅控制，炉膛采用氧化铝多晶纤维材料，炉管两端装有不锈钢法兰，不锈钢法兰上安装有气嘴、阀门和压力表，抽真空时真空度能够达到10-3 Pa。

该双温区管式炉为卧式结构设计，两个温区可以立控制、设置不同的温度，使用方便，操作简单，该炉具有温场均衡、表面温度低、升降温度速率快、节能等点，是高校、科研院所、工矿企业做高温气氛烧结、气氛还原、CVD实验、真空退火用的设备。

1700度双温区管式炉管式炉主要参数：

1	电炉名称	SGM-G1700度双温区管式炉
2	电炉型号	SGM-G1700S-403 炉膛尺寸：直径40x300mm
		SGM-G1700S-405 炉膛尺寸：直径40x450mm
		SGM-G1700S-603 炉膛尺寸：直径60x300mm
		SGM-G1700S-605 炉膛尺寸：直径60x450mm
		SGM-G1700S-803 炉膛尺寸：直径80x300mm
		SGM-G1700S-805 炉膛尺寸：直径80x450mm
		SGM-G1700S-1003 炉膛尺寸：直径100x300mm
		SGM-G1700S-1005 炉膛尺寸：直径100x450mm
		SGM-G1700S-1203 炉膛尺寸：直径120x300mm
		SGM-G1700S-1205 炉膛尺寸：直径120x450mm
3	上限温度	1700℃
4	工作温度	1600℃
5	炉管尺寸	直径100x450 mm（炉管总长1200mm,外径100，内径90，其中加热区长450mm）
7	炉管材质	刚玉管
8	密封方式	不锈钢真空法兰
9	气密性	质控法兰和石英炉管的气密性可达4.03x10-3Pa
10	控温方式	30段智能化程序PID调节，自动控温
11	控温精度	±1℃
12	加热速率	≤10℃/min
13	加热元件	硅钼棒
14	热电偶	B型热电偶
15	炉膛材料	氧化铝陶瓷纤维，无污染，蓄热量小，保温效果好
16	功率	4Kw
17	电压	220V 50Hz
18	售后服务	12个月质保，终身保修
19	包装模式	三合板木质包装箱
20	标准配件	管堵；热电偶1根；刚玉管1根；法兰1套；真空压力表1个；说明书1份