产品型号

1700℃两通道混气高真空CVD系统：SGM 1700℃单温区管式炉+两路质子混气系统

主要特点

1、双层壳体，配有风冷系统，壳体温度<55℃。

2、采用高纯氧化铝纤维，有效减少热量损失。

3、内炉膛表面涂有美国质氧化铝涂层，可以提高加热效率和使用寿命。

4、采用PID控制器 ，可以设置30段升降温程序。

5、可申请CE认证。

技术参数

SGM 1700℃单温区管式炉

1、电源：单相AC 208-240V   50/60Hz  6KW

2、炉管：高纯氧化铝陶瓷管，外径Φ100mm，内径Φ92mm，长1000mm

3、加热元件：1800℃硅钼棒8根

4、加热区域：457mm

5、恒温区域：150mm

6、工作温度：设计1650℃，连续工作1600℃

7、升温速率：≤5℃/min

8、控温精度：±1℃

9、热电偶：B型

10、不锈钢真空法兰：1对

11、机械压力表：1个

12、针阀：2个

13、连接器：KF-25，1个

14、抽气接口：KF-25转KF-40

15、卡套接头：1/4″

高真空机组

1、电源：单相AC208-240V  50/60Hz  100-110W

2、真空泵：德国Pfeiffer真空泵

3、显示屏：LCD数字显示

4、抽气速率：N2-33L/s，He-39L/s，H2-32L/s

5、工作范围：1000mtorr-10-7mtorr

6、极限：10-8mtorr（无泄漏）

质量流量混气系统

1、电源：单相AC208-240V  50/60Hz   18W

2、功率：18W

3、混气箱：Φ80mm×120mm

产品规格

尺寸：

管式炉550mm×380mm×520mm，

高真空机组600mm×600mm×700mm，

质量流量混气系统600mm×

           600mm×700mm