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  • PECVD 管式炉:气体流量自动控制

PECVD 管式炉:气体流量自动控制

  • 电阻炉名称:PECVD 管式炉:气体流量自动控制
  • 电阻炉类型:真空热压炉
  • 电阻炉厂家:西格马真空热压炉
  • 电阻炉规格:
  • 电阻炉温度:

PECVD 管式炉产品应用

PECVD工艺中由于等离子体中高速运行的电子撞击到中性的反应气体分子,就会使中性反应气体分子变成碎片或处于激活的状态容易发生反应;借助射频等使含有薄膜组成原子的气体,在局部形成离子体,而等离子体化学活性很强,很容易反应,在基片上沉积出所期望的薄膜;具有基本温度低、沉积速率快、成膜质量好、针孔较少、不易龟裂等点;

PECVD 管式炉产品特点

1.整机采用SUS304不锈钢材质,流线型外观,真空吸附成型的质高纯氧化铝多晶纤维固化炉膛,保温性能好。

2.炉子底部装有一对滑轨,移动平稳,可以手动从一端滑向另一端,实现快速的加热和冷却。炉盖可开启,可以实时观察加热的物料。

3.PECVD 管式炉采用高纯石英管,高温下化学稳定性强,耐腐蚀,热膨胀系数极小。

4.采用SUS304不锈钢快速法兰,通过用高温“O”型圈紧密密封可获得高真空,一个卡箍就能完成法兰的连接,放、取物料方便快捷。

5.加热元件采用质加热丝,表面负荷高、经久耐用。设计温度1200℃,升温速率10℃/min。

6.可选配多路质量流量计,数字显示、气体流量自动控制;内置不锈钢混气箱,每路气体管路均配有逆止阀,可通过控制面板上的旋钮来调节气体流量。

7.等离子射频电源:设计射频功率达500W,输出频率13.56MHz±0.005%,输入电源 208-240VAC, 单相50/60Hz。

PECVD 管式炉技术参数

 型号
技术参数

SGM1200-2.5/20-2M-LV-PE

SGM1200-5/20-4M-LV-PE

SGM1200-6/40-2M-HV-PE

SGM1200-8/40-4M-HV-PE

设计温度(℃)

1200

1200

1200

1200

控温精度(℃)

±1

±1

±1

±1

加热区直径(mm)

25

50

60

80

加热区长度(mm)

200

200

400

400

加热管长度(mm)

450

450

1000

1000

恒温区长度(mm)

80

80

150

150

额定电压(V)

220

220

220

220

额定功率(KVA)

1.2

1.2

3

3

射频电源功率(W)

5~300

5~300

5~500

5~500

真空机组

SGM-101

SGM-101

SGM-104

SGM-104

供气系统

SGM-2F

SGM-4F

SGM-2M

SGM-4M

 

 

影响价格报价因素:

多少钱一台? 厂家品牌不一样,价格也有所差别。另外,需要根据的温度、炉膛尺寸、环境要求等详细参数才能确定, 影响PECVD 管式炉:气体流量自动控制价格因素有:电炉材质、PECVD 管式炉:气体流量自动控制炉膛尺寸、PECVD 管式炉:气体流量自动控制设计温度、真空度、电子仪表等综合配置需求。请咨询洛阳智能马弗炉厂家获取PECVD 管式炉:气体流量自动控制详细技术与价格

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