炉膛轨式管式炉

炉膛滑轨式管式炉为实验室用管式电阻炉,可用于1100℃以下快速升温快速降温的特殊工艺要求，通过移动炉体实现快速冷却的目的。同时也可以预先设定温度，然后移动到样品处，达到快速升温。

炉膛滑轨式管式炉适合使用广泛的RTP工艺及CVD石墨烯工艺。

电炉特点

1、工作温度RT～1000℃。

2、双层炉壳风冷结构，配有轴流冷却风扇。

3、采用陶瓷纤维炉膛，电阻丝内嵌式环绕加热。

4、不锈钢双层密封法兰，进、出气美标针阀。

5、两端可调节式法兰支撑结构

6、智能程序控温仪控制精准,可编辑、储存并调用多段程序。

7、温度过高保护功能，当温度超过允许设定值自动断电。

额外选配：

 炉内测量系统：氧含量测量系统、多点测温；

真空系统：旋片式机械泵、扩散泵机组、分子泵机组）；

气氛系统：浮子流量计、质量流量计；多路气体混气系统；

监控系统：触摸屏远程监控、温度记录仪；

技术参数

注：给出的设计温度为工作管外测定，其它温区个数和加热区长度可根据客户工艺要求定制。