名称

DF200C系列质量流量控制器-数字式

量程(N2)

3SCCM-10SLPM(FS)

气体

非腐蚀气体；腐蚀气体单独说明

精度

±1.0%SP(＞35%FS)、

±0.35%FS(≤35%FS)

重复性

±0.25%FS

有效范围

2-100%

响应时间

1秒以内

耐压

1.0Mpa

进口压力

不超过0.5Mpa

工作压差

0.05-0.3Mpa

泄漏率

1*10-8pa·m³/s以下

温度范围

5~50℃

精度保证温度

15~35℃

保存温度

-10~60℃

湿度范围

10-90%RH(不能结露)

材质

本体SUS316、SUS316L

密封圈VITON，选配NBR或FKM

电气接口

DB9

通讯接口

RS485(RJ45接口)

模拟信号

0-5V输入/输出

供电

+24VDC(±10%)300mA；±15VDC(±10%)300mA

管路连接

标配1/4F9

选配1/8F9、1/4UJR、RC1/4

重量

约850g