DF-250C数字质量流量控制器
名称:质量流量控制器厂家 发布时间: 2023-12-30 点击数:0
KOFLOC流量计
科赋乐流量控制器数字质量DF-250C
DF250C系列是DF200C系列的大流量产品,同样也采用了全新传感器、全新控制阀,新的PID算法,从而在控制精度、响应速度大大得到了提升。
通讯方面DF200采用RS485(RJ45接口)使用普通网线既可串联99台
DF200C,大大节省了布线的工作,上市以来得到各个行业客户的认可
DF-250C标准规范
传感器方式 | 热绕组传感器 | |||||
---|---|---|---|---|---|---|
阀门方式 | 比例电磁阀(未通电时关闭) | |||||
目标气体(* 1) |
N2,空气,H2,He,Ar,O2,CO2等 (未描述的气体是N2当量校准) |
空气,N2 | ||||
流量范围(* 2) | 10 SCCM到10 SLM |
20至50 SLM (二氧化碳:20至30 SLM) |
100,150 SLM | 200,300 SLM | 400,500 SLM(* 3) | |
控制范围 | 2~100%(F.S.) | 5~100%(F.S.) | ||||
响应速度 |
总流量控制范围在1秒内 (wihtin±2%F。S.) |
1.5秒或更短 10%或更少是3秒或更短 (在±2%F。内) |
2秒或更短(±2%FS内) | |||
L:50.149kPa H:150.300kPa | L:150.249kPa H:250.350kPa | L:200。299kPa(* 9)H:300。350kPa | ||||
精度(* 4) | ±1.0%F.S. | ±2.0%F.S. | ||||
再现性 | ±0.25%F.S. | ±0.5%F.S. | ||||
工作压差(* 5) |
50至300千帕 (Ar,CO2:100至300 kPa) |
100至300千帕 (Ar,CO 2:150至300 kPa) |
150至350千帕 |
200 SLM:200至350 kPa 300 SLM:250至350 kPa |
400 SLM:200至350 kPa 500 SLM:250至350 kPa |
|
最大入口压力 | 500kPa(G) | |||||
耐压 | 980kPa(G) | |||||
He泄漏率(* 6) | 1 x 10-8 Pa.m3 / sec以下 | 1 x 10-7 Pa.m3 / sec以下 | ||||
温度 | 工作温度 | 5~50℃ | ||||
精度保证温度 | 15~35℃ | |||||
允许储存温度 | -10~60℃ | |||||
允许工作湿度 | 10~90%RH (无结露) | |||||
气体接触材料 | SUS316,SUS316L,磁性不锈钢,Ni,PTFE,PCTFE,FKM | |||||
电气连接 |
D-sub 9针KFC标准(符合SEMI标准), RJ-45模块化插孔x 2 |
D-sub 9针KFC标准(符合SEMI标准), HR-10A×2 |
||||
流量设定信号 | 0~5 VDC(输入电阻约1MΩ) | |||||
流量输出信号 | 0~5 VDC(负载电阻10kΩ以上) | |||||
数字通信 | 使用RS485旋转开关设置地址:最多99(9600 bps) | |||||
所需电源(DC) |
+15 VDC(±5%):150 mA, -15 VDC(±5%):150 mA |
+15 VDC(±5%):150 mA, -15VDC(±5%):250mA |
24 VDC(±10%):450 mA(DC插孔.D-sub) | |||
接头(* 7) | 1 / 4F 900(标准),1/4 UJR,Rc1 / 4 | 1/2 SW(标准),3/4 SW | ||||
安装姿势 | 推荐水平方向 | |||||
重量(* 8) | 约850g | 约1000g | 约2250g | 约3500g |
(* 1)应为干燥气体,清洁气体,无腐蚀性成分,灰尘,雾气等。
(* 2)流量校准单元SCCM和SLM是在0°C和1 atm下转换为质量流量cc / min和L / min的值。
(* 3)工作压力范围内的输出流量为1%或更低。
(* 4)流量范围的精度(最大满量程)。
(* 5)工作压差可能因规格而异。
(* 6)不含渗透。
长期渗透引起的泄漏量(参考值)为1×10.6Pa·m3 / sec以下。
(* 7)如需其他接头,请另行询问。
(* 8)没有配件的重量。
(* 9)300 SLM,500 SLM将为L:250。299 kPa。
DB9针脚定义:
针脚/颜色 |
定义 |
1针脚/棕色 |
阀门全开/全闭 |
2针脚/白色 |
0-5V输出 |
3针脚/红色 |
+15VDC 或+24VDC |
4针脚/黑色 |
电源COM 或 空 |
5针脚/黄色 |
-15VDC 或 电源地 |
6针脚/灰色 |
0-5V输入 |
7针脚/绿色 |
输出COM |
8针脚/兰色 |
输入COM |
9针脚/紫色 |
阀门电源输出 |
RJ45针脚定义:150SLM以下(通讯用)
针脚 |
定义 |
1针脚 |
485COM |
2针脚 |
485COM |
3针脚 |
空 |
4针脚 |
485- |
5针脚 |
485+ |
6针脚 |
空 |
7针脚 |
空 |
8针脚 |
空 |
圆形4芯针脚定义:200SLM以上(通讯用)
针脚 |
定义 |
1针脚 |
TR-(RS485) |
2针脚 |
TR+(RS485) |
3针脚 |
485COM |
4针脚 |
485COM |
24V电源适配器定义:200SLM以上用
1内 |
电源GND |
2外 |
+24VDC |
一:进气管道上建议安装上的过滤器、油水分离器使用,保证气体的干燥干净《湿度不超过90%(一定不能进水)、杂质粉尘不超过20微米》。
二:用肥皂水对管路进行泄漏检测时,只能将肥皂水喷洒在管路接头上,不能喷在仪表或电气插头上。
三:安装前,请将设备管路进行整体吹扫。
四:耐压1.0Mpa,进口蕞大压力5公斤。
五:需要进行零点漂移清零的时候,确认进/出口没流量没压力下 再操作。
链接:http://wwww.zzdianlu.com//dianlu/1903.html
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