小型管式等离子增强化学气相沉积炉_小型等离子增强化学气相沉积管式炉品牌哪个好

当前位置：电炉选购 >小型管式等离子增强化学气相沉积炉

小型管式等离子增强化学气相沉积炉

名称：小型等离子增强化学气相沉积管式炉厂家发布时间： 2023-08-23 点击数：0

小型管式等离子增强化学气相沉积炉为实验室用小型等离子增强化学气相沉积管式炉，此小型等离子体增强化学气相沉积系统由可滑动高温管式炉、质量流量计系统、射频电源系统和真空系统组成。

小型管式等离子增强化学气相沉积炉（PECVD系统）的应用：

PECVD工艺中由于等离子体中高速运行的电子撞击到中性的反应气体分子，就会使中性反应气体分子变成碎片或处于激活的状态容易发生反应；借助射频等使含有薄膜组成原子的气体，在局部形成离子体，而等离子体化学活性很强，很容易反应，在基片上沉积出所期望的薄膜；具有基本温度低、沉积速率快、成膜质量好、针孔较少、不易龟裂等优点；

产品特点：

1、空吸附成型的优质高纯氧化铝多晶纤维固化炉膛，保温性能好。

2、炉子底部装有一对滑轨，移动平稳，可以手动从一端滑向另一端，实现快速的加热和冷却。炉盖可开启，可以实时观察加热的物料。
3、采用高纯石英管，高温下化学稳定性强，耐腐蚀，热膨胀系数极小。

4、采用SUS304不锈钢快速法兰，通过用高温“O”型圈紧密密封可获得高真空，一个卡箍就能完成法兰的连接，放、取物料方便快捷。

5、加热元件采用高温发热丝，表面负荷高、经久耐用。设计温度1200℃，升温速率10℃/min。

6、可选配多路质量流量计，数字显示、气体流量自动控制；内置不锈钢混气箱，每路气体管路均配有逆止阀，可通过控制面板上的旋钮来调节气体流量。

7、等离子射频电源：大射频功率达500W，输出频率13.56MHz±0.005%，输入电源 208-240VAC，单相50/60Hz。

技术参数：

电炉型号	TF1200-2520-2M-PE	TF1200-5020-4M-PE	TF1200-6/40-2M-PE	TF1200-8040-4M-PE
设计温度	1200℃	1200℃	1200℃	1200℃
控温精度	±1℃	±1℃	±1℃	±1℃
加热区直径	25mm	50mm	60mm	80mm
加热区长度	200mm	200mm	400mm	400mm
加热管长度	450mm	450mm	1000 mm	1000mm
恒温区长度	80mm	80mm	150 mm	150mm
额定电压	220V	220V	220V	220V
额定功率	1.2KVA	1.2 KVA	3KVA	3KVA
射频电源功率	5~300 W	5~300 W	5~500 W	5~500 W
真空机组	Z-101	Z-101	Z-104	Z-104
供气系统	G-2F	G-4F	G-2M	G-4M