小型滑动PECVD管式炉系统

一、产品用途：

该小型PECVD管式炉系统设备非常适用于石墨烯生长工艺。它可以用于在硅片或类似形状的样品表面沉积各种薄膜，如SiOx、SiNx、非晶硅、微晶硅、纳米硅、SiC、类金刚石等，从而提高离子注入后贵金属、黄金首饰、金刚石等材料的抗弯强度和磨耗性能。此外，它还可以沉积p型和n型掺杂薄膜。沉积的薄膜具有良好的均匀性、致密性、粘附性和绝缘性能。该设备适用于集成电路和半导体研发，并可用于稀土制备、电子照明、晶体退火、生物陶瓷、电子陶瓷、特种合金、磁性材料、精密铸造、金属热处理等行业的真空烧结、气氛保护烧结、CVD实验和物质成分测量等场合。

二、主要功能和特点：

1.设备配备Plasma实现等离子增强，滑轨式设计可将恒定高温直接推向样品处，实现样品快速升温，同时也可将高温管式炉直接推离样品处，使其快速降温。

2.利用辉光放电产生等离子体电子，激活气相反应。

3.提高气相反应的沉积速率和成膜质量。

4.可通过调整射频电源频率来控制沉积速率。

5.可广泛用于石墨烯、SiOx、SiNx、CNx、TiCxNy等薄膜的生长。

6.常用气体有氮气、氩气、氢气和甲烷，比例可咨询专家。

三、电炉技术参数

1.电炉型号：TF60-12-44-2

2.石英管尺寸：长度2000mm，内径Φ60，外径50mm（具有高温下的化学稳定性、耐腐蚀性和极小的热膨胀系数，能承受骤冷骤热）。

3.加热元件：掺钼铁铬铝合金电阻丝。

4.测温元件：N型热电偶。

5.加热区长度：440mm。

6.恒温区长度：200mm。

7.工作温度：≤1100℃。

8.控温模式：模糊PID控制和自整定调节，智能化30段可编程控制，具有超温和断偶报警功能。

9.控温精度：±1℃。

10.升温速率：≤20℃/min。

11.电功率：AC220V/50HZ/3KW。

12.控制面板：10寸液晶触摸屏。

13.预热区：加热区205mm，功率1.5KW。

14.整机占地：宽2200mm（左右占地）、深800mm（进身）。

四、质量供气系统技术参数

1.标准量程：50sccm（CH4）、200sccm（H2）、500sccm（Ar、N2）。

2.压力表测量范围：-0.1Mpa～0.15Mpa。

3.极限压力：3MPa。

4.阀门：针阀316不锈钢。

5.截止阀：Φ6mm316不锈钢针阀。

6.电功率：AC220V/50HZ/20W。

7.响应时间：气特性：1～4秒，电特性：10秒。

8.准确度：±1.5%。

9.线性：±0.5～1.5%。

10.重复精度：±0.2%。

11.气路接口：Φ6,1/4''。

五、真空系统技术参数：

1.工作电压：220V±10%，50~60HZ。

2.抽气速率：4L/s。

3.极限真空：4X10-2Pa。

4.实验真空度：1.0X10-1Pa。

5.容油量：1.1L。

6.进气口口径：KF25。

7.排气口口径：KF25。

8.转速：1450rpm。

六、射频电源：

1.信号频率：13.56MHz±0.005%。

2.功率输出范围：500W。

3.设计反射功率：200W。

4.射频输出接口：50Ω，N型，母头。

5.功率稳定度：±0.1%。

6.谐波分量：≤-50dbc。

7.供电电压：单相交流（187V-253V），频率50/60HZ。

8.整机效率：≥70%。

9.功率因素：≥90%。

10.冷却方式：强制

七、质量保证和售后服务：我们的设备享有终身保修服务，在质保期为1年，在保质期内除相关耗材外。如果您需要延长保质期，请与销售人员联系。

八、安全防护：我们的设备配备了超温报警系统、断偶提示、过流保护和漏电保护功能。当需要观察物料或快速降温时，设备会自动切断电源，以确保使用人员的安全。

九、质量保障：我们公司拥有质量管理制度，并设立了专门的部门处理质量问题和服务不到位问题的投诉。设备在制造完成后进行严格的检测合格入库，出货前需要对各个零部件进行严格检测并确保仪表完全合格。我们注重设备的安全性和稳定性，并且严格按照相关标准进行产品的制造和检测，并保留质量记录供查阅。每台设备都有独立的制造编号，并建立了用户档案。

十、整机要求：

1.电力需求：销售人员将与使用方沟通以了解电力需求。

2.起重设备：销售人员将与使用方沟通以了解起重设备的要求。

十一、安装、调试和验收：

1.买方负责地基、气源和水源，供方负责供应电控柜之前的进线电缆。在准备工作完成后，通知供方进行设备的安装、调试。设备将由供方组织，买方配合在买方现场进行安装和调试，以确保设备能满足买方的使用要求

以下是对原文进行整理、修改重写和优化后的内容：

二、验收标准和报告：

2. 设备的验收标准将根据双方签订的设备技术协议进行评估。首先，在供应商现场进行预验收，一旦合格则发运至买方现场。在买方现场进行安装和调试，并通过最终验收来确认设备的合格性。

3. 在验收工作完成后，双方将共同签署设备最终验收报告，以确认设备的交付和接受。

十二、设备培训：

在设备安装和调试期间，供应商将同时对买方的设备使用人员进行必要的操作和维护保养培训。通过这些培训，用户技术人员将能够独立正确地操作设备，并能够判断故障并进行简单的维修。

十三、售后支持：

1. 我们提供物流送货上门服务，并承诺在一个小时内解答客户的技术疑问。

2. 对于需要返厂维修的设备，我们承诺在24小时内出具检测结果，并在3个工作日内完成维修。特殊材料可能需要定制，我们会视情况处理。

3. 设备返还客户后的一周内，我们将回访用户，并提供有关技术的免费咨询。

4. 在签订协议后，设备享有12个月的整机保修服务。

5. 保修期内，如果设备发生故障，买方通知卖方后（通过电话/传真/电子邮件等方式），卖方工程师将在1小时内响应，并在12小时内提供维修方案。保修期过后，卖方将继续提供优惠的技术支持，以低于市场价的价格提供备品和备件，并提供终身维修服务。

十四、设备配件和拆卸：

1. 买方在使用设备期间，不得私自更改设备的配件或进行未经授权的拆卸操作。

2. 如有需要更换或维修设备配件，买方应及时联系供应商，并按照供应商的指导进行操作。

3. 私自更改设备配件或进行未经授权的拆卸可能导致设备损坏或安全隐患，并可能会使保修失效。

4. 为确保设备的正常运行和延长设备寿命，请严格按照供应商提供的操作手册和维护指南进行操作和维护。

十五、交货期：

我们将按照合同约定执行交货期。如果客户有特殊原因需要提前交货，我们公司将特别组织生产，力争满足客户需求。

不同功率的射频电源型号：

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