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PECVD管式炉用小型RF射频电源
- 电阻炉名称：PECVD管式炉用小型RF射频电源
- 电阻炉类型：电炉配件
- 电阻炉厂家：西格马电炉配件
- 电阻炉规格：
- 电阻炉温度：℃
小型PECVD管式炉系统由高温管式炉、石英真空室、真空系统、混气系统、射频电源系统等组成。
小型PECVD管式炉主要使用于:金属薄膜，陶瓷薄膜等，复合薄膜，石墨烯等生长。增加功能容易，可扩展等离子清洗刻蚀等功能。该PECVD系统具有： 薄膜沉积速率高、均匀性好、一致性和稳定性高等优点。
RF射频电源为实验室PECVD管式炉用小型RF射频电源。
射频收发核心电路射频即Radio Frequency，通常缩写为RF。表示可以辐射到空间的电磁频率，频率范围从300KHz～30GHz之间。
RF电源是产生等离子体的配套电源,由射频功率源，阻抗匹配器以及阻抗功率计组成
射频电源的用途及工作原理：射频电源是用于镀膜设备中旅，通过该设备中的功放模块产生高频电压、电流，将常规使用的220V电压和频率50/60MHZ转换为可变的13.56MHZ电压电流。
RF射频电源主要技术参数：
|
功率输出范围 |
0-500W |
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反射功率 |
200W |
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工作频率 |
射频：13.56MHZ±0.005% |
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功率稳定度 |
+/-0.1% |
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谐波分量 |
≤-50dbc |
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射频区域宽度 |
0-600mm 可调 |
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匹配方式 |
自动 |
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冷却方式 |
分冷 |
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噪声 |
<50dB |
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射频接口 |
50Ω N-type |
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输入电源 |
208-240V 50/60HZ |
RF电源多少钱一台？ RF电源厂家品牌不一样，RF电源价格也有所差别。另外，需要根据RF电源的温度、炉膛尺寸、环境要求等详细参数才能确定， 影响PECVD管式炉用小型RF射频电源价格因素有：电炉材质、PECVD管式炉用小型RF射频电源炉膛尺寸、PECVD管式炉用小型RF射频电源设计温度、真空度、电子仪表等综合配置需求。请咨询洛阳智能马弗炉厂家获取PECVD管式炉用小型RF射频电源详细技术与价格
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