真空热处理炉、真空真空炉的炉壳、炉盖、电热元件导别处置(水冷电极)、中间真空隔热门等部件，均在真空、受热状态下工作。影响真空度的原因有多种,下面总结了其中设计主要的4处原因：

1、水冷装置

真空真空炉各个部件要根据其特性来设置水冷装置，比如密封圈的不过热不烧毁部件不变形等。这样才能保证真空真空炉能正常运行。

2、隔热材料的问题

真空真空炉广泛采用了钽、钨、钼和石墨等作加热与隔热构料，其他材料易氧化。使用前要了解炉膛的材料在进行实验

3、低电压大电流

在真空容器内，当真空空度为几托一lxlo-1托的范围内时，真空容器内的通电导体在较高的电压下，会产生辉光放电现象。在真空真空炉内，严重的会产生弧光放电，烧毁电热元件、隔热层等，造成重大事故和损失。因此，真空真空炉的电热元件的工作电压，一般都不超过80一100伏。同时在电热元件结构设计时要采取有效措施，如尽量避免有尖端的部件，电极间的间距不能太小窄，以防止辉光放电或者弧光放电的发生。

4、严格的真空密封

金属零件进行真空热处理均在密闭的真空炉内进行，因此，获得和维持炉子原定的漏气率，保证真空炉的工作真空度，对确保零件真空热处理的质量有着非常重要的意义。所以真空真空炉的一个关键问题，就是要有可靠的真空密封结构。

注意到这些细节的问题，才能保证真空真空炉是正常的使用，这样才能达到自己想要的真空度。