实验室CVD系统由供气系统+立式管式炉+抽气系统组成。SGM VLT立式管式炉采用双层壳体结构，炉膛采用氧化铝多晶纤维材料。真空可以达到10ˉ3pa，供气系统是流量调节可以是质子流量计或浮子流量计，混气路数可以是2路、3路、4路、5路相混合。

SGM VLT立式管式炉为立式对开式，炉体固定于支撑架上，分别有支架固定炉管和法兰，采用双层壳体结构，炉膛采用氧化铝多晶纤维材料。炉膛分为左右两个半圆，需要急速冷却或换管子时，可以侧面打开炉膛。炉内装有行程开关，当炉盖打开时会自动切断电源。

高温真空立式管式炉可配磁流体密封法兰，盛放样品的坩埚可在真空及气氛保护环境下进行旋转以达到更为均匀的烧结效果，坩埚可手动进行升降，使取放样品操作更加方便简单。

电炉结构特点：

1、采用双层壳体结构并带有风冷系统

2、采用高纯氧化铝作为炉膛材料，炉膛表面涂有美国高温氧化铝涂层可以提高加热效率和炉膛使用寿命

3、垂直可拆卸设计，便于安装

4、配备水冷法兰，顶部和底部法兰都有水冷套，水冷却可以良好保持O形圈密封和法兰在高温情况下工作

5、管内坩埚通过直流电机驱动，可在真空或气氛保护环境下进行旋转烧结

6、法兰开启状态下，坩埚可手动升降，使得放样和取样更加简单

注意事项：

1、炉管内气压不可高于0.02MPa

2、由于气瓶内部气压较高，所以向炉管内通入气体时，气瓶上必须安装减压阀，为了确保安全，建议使用压力低于0.02MPa，建议在本公司选购减压阀，本公司减压阀量程为0.01MPa-0.1MPa,使用时会更加精度安全

3、进入炉管的气体流量需小于200SCCM，以避免冷的大气流对加热炉管的冲击

4、对于样品加热的实验，不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热，则需时刻关注压力表的示数，若气压表示数大于0.02MPa，必须立刻打开泄气阀，以防意外发生（如炉 管破裂，法兰飞出等）

5、不要在刚玉管中使用石墨坩埚或石英坩埚

6、样品是通过耐高温丝固定悬挂在法兰底部的悬挂钩上。（注：我随设备标配的高温丝的使用温度不得高于1200度）