SGM MMS-5 五路质量流量计控制混气系统 Mass air mixing system

SGM MMS-5 五路质量流量计控制混气系统为洛阳西格马高温电炉生产的多路流量计控制混气系统。多路流量计控制混气系统为实验室控制气体流量计混配配比器系统。SGM MMS-5 五路质量流量计控制混气系统是一款低成本多路质量流量计控制系统，其质量流量计和不锈钢混气罐都安装在一个移动柜里，移动柜设计大可以承重1000Lbs，与本公司大多数管式炉配套使用时，可将管式炉置于移动柜上以节约空间。各通道气路的流量设定和状态显示都集中在LCD触摸屏上，便与操控的同时，可实时查看气体流量曲线和数据。此款混气系统设备可用于材料界中CVD实验和各种材料的退火实验。

多路流量计控制混气系统是一款可以控制多种气体按不同流量进行混合配比的供气系统，气体从钢瓶出来，经过减压阀减压，通过管道到供气系统的入口，再经过质量流量计控制气体流量，然后经过混气罐，再进入炉子进气口。混气罐上接有压力表，压力表显数盘与质量流量计显示板安装在同一面板上，每一条气体管路均有一个高压截止阀。各通道气体流量设定和状态显示都集中在PLC触摸屏上，同时可以实时查看气体流量曲线和数据。

CVD：实验室管式炉+混气系统

质量流量计控制混气系统主要特点：

1、可用于低压小流量，多种气体单一/混合连续供气系统。尤其方便多种气体的切换使用，而不会造成大气进入加热管。

2、气体压力和流量数据在同一平面直观可读，外形美观、实用，操作简便。

3、采用触摸屏来控制气体的流量，显示流量准确，方便操作。

4、所有仪表及阀门的连接均采用活接头连接，便于维修拆卸。

结构特点：

1、气体从钢瓶出来，经过减压阀减压，通过四氟管到供气系统的入口，再经过质子流量计控制气体流量，然后经过混气罐，再进入炉子进气口，气体从出气管出来，经过三通阀门，一端连接真空泵，一端连接出气口。

2、混气罐上接有压力表，压力表显数盘与质子流量计安装在同一面板上。

3、每一条气体管路均有一个高压截止阀，安全有保证。

4、该气路采用高精度气体浮子流量计，气路内部全采用四氟管，耐腐蚀性好。

5、所有接头采用卡套连接，气密性好，耐压高

实验室混气系统技术参数：

1、气路通道：多通道（可根据客户需要确定）     

2、气体类型：客户可以根据自己的要求任意选择气体。

3、流量计标准量程：5、10、20、30、50、100、200、300、500SCCM、1、2、3、5、10SLM(可以任意选择量程)

4、工作电压：220V 50HZ           

5、工作温度：5-45℃       

6、工作压差：0、1~0、5MPa

7、设计压力：3MPa                 

8、准确度：±1、5%F、S、       

9、质量流量计相应时间：1S

10、测量范围：0、1MPa-0、15MPa     

11、混气罐：304不锈钢       

12、进出气接口：采用Φ6不锈钢卡套接头

13、管道：内部管道为6mm不锈钢管 外部管道为6mm聚四氟管     

 14、尺寸：650X650X650mm

15、控制面板：每路气路设定和查看都集中在PLC触摸屏上可通过PLC设定每个通道的气体流量，实时查看各通道的流量曲线和设定数据

各路质子流量计混气系统参数

五路混气供气系统的配置：

1、质子流量计：5个

2、压力表：1个

3、截止阀门：6个

4、穿板接头：6个

5、阀门接头：2个

6、钢瓶接头: 5个

7、聚四氟乙烯管：20M

8、混气罐：1个

9、炉架：1台

供气系统内部压力不能过大，不然容易造成漏气，只要气体能正常流出来即可。

机械压力表

·有一机械压力表安装于前面板上，与混气罐相连接

·量程:-0.1~0.15 MPa (0.01 MPa/grid)

通气管道

·内部连接管道为1/4”不锈钢管

·外部通气管道为1/4”聚四氟管

混气罐

·Φ80X120mm

截止阀及配件

·316不锈钢针阀

·Φ1/4”不锈钢管