多路流量质量混气系统

4路流量质量混气系统为洛阳西格马高温电炉生产的多路流量质量混气系统，4路流量质量混气系统可以用于控制一种到四种的气体流经真空密封的管式炉，这种气体控制系统安装在移动架上，管式炉可以放在GQ-4Z的上面，气体控制系统的前面板上有控制并显示气体流量的调节阀。结合艾科迅的管式炉，它可以用于CVD系统及退火炉，用来研究气体环境对材料的影响。

多路流量质量混气系统是一款可以控制多种气体按不同流量进行混合配比的供气系统，气体从钢瓶出来，经过减压阀减压，通过管道到供气系统的入口，再经过质量流量计控制气体流量，然后经过混气罐，再进入炉子进气口。混气罐上接有压力表，压力表显数盘与质量流量计显示板安装在同一面板上，每一条气体管路均有一个高压截止阀。各通道气体流量设定和状态显示都集中在PLC触摸屏上，同时可以实时查看气体流量曲线和数据。

流量质量混气系系统特点：

1、气体从钢瓶出来，经过减压阀减压，通过四氟管到供气系统的入口，再经过质子流量计控制气体流量，然后经过混气罐，再进入炉子进气口，气体从出气管出来，经过三通阀门，一端连接真空泵，一端连接出气口。

2、混气罐上接有压力表，压力表显数盘与质子流量计安装在同一面板上。

3、每一条气体管路均有一个高压截止阀，安全有保证。

4、该气路采用高精度气体浮子流量计，气路内部全采用四氟管，耐腐蚀性好。

5、所有接头采用卡套连接，气密性好，耐压高。

4路流量质量混气系系统

供气系统的配置：

1、质子流量计：4个

2、压力表：1个

3、截止阀门：5个

4、穿板接头：5个

5、阀门接头：2个

6、钢瓶接头: 4个

7、聚四氟乙烯管：20M

8、混气罐：1个

9、炉架：1台

供气系统内部压力不能过大，不然容易造成漏气，只要气体能正常流出来即可。