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RF射频电源：PECVD系统射频发生器
- 电阻炉名称：RF射频电源：PECVD系统射频发生器
- 电阻炉类型：高温管式炉
- 电阻炉厂家：西格马高温管式炉
- 电阻炉规格：
- 电阻炉温度：1000℃、1200℃、1400℃℃
RF射频电源为PECVD系统射频发生器
PECVD系统，它由管式炉，石英真空室、真空系统、供气系统、射频电源系统等组成。
主要使用于:金属薄膜，陶瓷薄膜等，复合薄膜，石墨烯等生长。增加功能容易，可扩展等离子清洗刻蚀等功能。该PECVD系统具有： 薄膜沉积速率高、均匀性好、一致性和稳定性高等点。
RF射频电源主要技术参数：
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功率输出范围 |
0-500W |
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反射功率 |
200W |
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工作频率 |
射频：13.56MHZ±0.005% |
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功率稳定度 |
+/-0.1% |
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谐波分量 |
≤-50dbc |
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射频区域宽度 |
0-600mm 可调 |
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匹配方式 |
自动 |
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冷却方式 |
分冷 |
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噪声 |
<50dB |
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射频接口 |
50Ω N-type |
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输入电源 |
208-240V 50/60HZ |
多少钱一台？ 厂家品牌不一样，价格也有所差别。另外，需要根据的温度、炉膛尺寸、环境要求等详细参数才能确定， 影响RF射频电源：PECVD系统射频发生器价格因素有：电炉材质、RF射频电源：PECVD系统射频发生器炉膛尺寸、RF射频电源：PECVD系统射频发生器设计温度、真空度、电子仪表等综合配置需求。请咨询洛阳智能马弗炉厂家获取RF射频电源：PECVD系统射频发生器详细技术与价格
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