晶圆退火炉工作原理：

快速退火炉是一种材料快速加热到一定温度并维持一定时间，然后再快速降温。

晶圆的制备工艺中有一退火步骤，主要是依靠晶圆退火炉来完成的。将待退火的晶圆中间产品放入晶圆退火炉中，加温至1000多度退火，退火完成之后，冷却到常温。

电炉用途：

释放应力；增加材料延展性和韧性；产生特殊显微结构；应用于半导体材料、器件、新材料等的快速热处理（如快速退火、合金等工艺）

晶圆退火炉技术指标：

温度：1200℃；

升温速率：150℃/秒；

温控均匀性：±2.5℃设定温度；

处理时间：0.1秒至无限时间；

加热方式：红外卤素灯，顶部及底部区域加热；

灯管数量及功率：13支，

腔体冷却：风冷方式；

衬底冷却：氮气吹扫；

工艺气路：MFC控制，多6路 (氮气、氩气、氧气、氢氮混合气等)；

常规规格：

快速退火炉特点：

快速退火炉主要由真空腔室、加热室、进气系统、真空系统、温度控制系统、气冷系统、水冷系统等几部分组成。

真空腔室：真空腔室是快速退火炉的工作空间，晶圆在这里进行快速热处理。

加热室：加热室以多个红外灯管为加热元件，以耐高温合金为框架、高纯石英为主体。

进气系统：真空腔室尾部有进气孔，精度控制的进气量用来满足一些特殊工艺的气体需求。

真空系统：在真空泵和真空腔室之间装有高真空电磁阀，可以有效确保腔室真空度，同时避免气体倒灌污染腔室内的被处理工件。

温度控制系统：温度控制系统由温度传感器、温度控制器、电力调整器、可编程控制器、PC及各种传感器等组成。

气冷系统：真空腔室的冷却是通过进气系统向腔室内充入惰性气体，来加速冷却被热处理的工件，满足工艺使用要求。

水冷系统：水冷系统主要包括真空腔室、加热室、各部位密封圈的冷却用水。

配件更换：

1、加热灯管更换：加热灯管超过使用寿命或无法点亮时需进行更换。加热灯管的使用寿命为3000小时，高温状态下会降低其使用寿命。

2、真空泵油更换：在使用过程中，请每季度固定观察1次真空油表，当油表显示油量低于1/3时请添加真空泵润滑油到油表一半以上。

3、热电偶更换：当热电偶测温不正常或者损坏时需进行更换。热电偶的正常使用寿命为3个月，随环境因素降低其寿命。

4、O型圈的更换：O型圈表面有明显破损或者无法气密时需进行更换，其寿命受外力以及温度因素影响。