1700度高温CVD系统设备是由洛阳西格马高温电炉生产的实验室设备，1700度高温CVD系统设备由1700度管式炉、三路质量流量计系统以及国产高真空系统（或选配低真空系统）所组成。

1700度高温CVD系统用途：

1700度高温CVD系统可用于真空或气氛烧结、基片镀膜等要求加热温度较高的实验环境.设备技术成熟、质量可靠，温场均匀，结构合理，气路选用液晶屏触摸界面，使得操作异常简单、方便；设备的各项技术参数，30段可编程温控系统更是一目了然,使整个实验的运行状态尽在您的掌控之中。

1700度高温CVD系统主要技术参数

加热区参数：

炉管尺寸：Φ60/80×1000mm（管径可选）

加热元件：硅钼棒

加热区长度：300mm

恒温区长度：150mm

工作温度：1550℃

额定温度：1650℃

控温方式：模糊PID控制和自整定调节，智能化30段可编程控制，具有超温和断偶报警功能

控温精度:±1℃

推荐升温速度：1400℃以下≤10℃/min，1400℃到1600℃≤5℃/min

工作电源：AC208-240VSinglePhase，50/60Hz

额定功率：5.2KW

外型尺寸：610×440×720mm

标准配件：高纯刚玉管1支，氧化铝管堵2对，不锈钢法兰1套，氟胶密封圈2套，高温手套1副，坩埚钩1支，小保险1个；

密封系统：炉管两端配有不锈钢密封法兰（包括精密针阀，指针式真空压力表和软管式宝塔嘴接头）

端口可按实际使用扩展。

 

气路系统参数：

质量流量计参考量程（N2)：100sccm、200sccm、500sccm（量程可选）

准确度：±1.5%

线性：±0.5～1.5%

重复精度：±0.2%

响应时间：气特性：1～4Sec，电特性：10Sec

工作压差范围：0.1～0.5MPa

大压力：3MPa

接口：Φ6,1/4''

显示：4位数字显示

工作环境温度:5~45高纯气体

内外双抛不锈钢管：Φ6

压力真空表：－0.1～0.15MPa,0.01MPa/格

截止阀：Φ6

连接头类型：双卡套不锈钢接头。

可选配一路、两路、三路、四路、五路等以上质量流量计。

 

低真空系统参数：

国产油泵型号：BSV-10

抽速：10m?/h

极限真空度：5*10-1pa

电源：220v50hz

电机功率：0.4kw

进排气连接口：KF25

用油量：1.1L

电机转速：1440rpm

工作环境温度：5-40℃

噪音：≤56db

 

电阻真空计参数：

1.配用规管：ZJ-52T电阻规，

2.测量范围：105～10-1Pa，

3.测量路数：1路

4.控制范围：5×103～5×10-1Pa，

5.控制方式：继电器触点输出，负载能力AC220V/3A(或DC28V/3A)无感负载，

6.电源：90-260V/50Hz或220V±10%50Hz，

7.功耗：20W

采用波纹管手动挡板阀与真空系统相连接。

 

高真空系统参数：

空气相对湿度：≤85%

工作电压：AC220V±10%50/60HZ

功率：1KW

系统整体极限真空度：10-5Pa

实验真空度：10-3Pa

外形尺寸：850×600×650mm

机械泵:

抽气速率：10m?/h

容油量：1.1L

电机功率：400W

极限压强：6×10-2Pa

分子泵:

抽气速率：100L/S

极限压强：6×10-6Pa

启动时间：＜2min

额定转速：4300转/分

冷却方式：环境温度5-32℃时，风冷；5-40℃时，水冷。

分子泵控制器:

电压：220V±22V

启动电流：≤7A

输入频率：47HZ—63HZ

大输出功率：≤150W

大加速电压：≤40V

加速时间：≤3min

频率（双速）：高速705HZ±10HZ

低速430HZ±5HZ

复合真空计:

测量路数：2路（电阻规、电离规各1路）

工作模式：手动/自动

 

电阻单元参数

规管型号：ZJ-52T电阻规

测量范围：1.0×105Pa~1.0×10-1Pa

有效范围：2.5×103Pa~5.0×10-1Pa

控制范围：2.5×103Pa~5.0×10-1Pa

 

电离单元参数

规管型号：ZJ-27电离规

可测范围：5.0Pa~1.0×10-5Pa

有效范围：1.0Pa~5.0×10-5Pa

控制范围：1.0Pa~5.0×10-5Pa

规管除气方式：焦耳去气

 

其他参数

控制路数：4路

控制方式：点动或区域控制/带掉电记忆

控制精度：±1%

采样时间：1S

电源：220V±10%50HZ

功耗：50W

使用环境温度：0℃~45℃

湿度：≤85%

连接管路:

采用全不锈钢，电抛光制作，零件焊接漏率于1.0×10-9Pa.m3/s

采用波纹管手动挡板阀与真空系统相连接。

备注：

可根据工艺要求选配低真空或高真空系统。

 

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